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[發明專利]光波導路組件的制造方法有效

專利信息
申請號: 200910135509.6 申請日: 2009-04-17
公開(公告)號: CN101561532A 公開(公告)日: 2009-10-21
發明(設計)人: 清水裕介 申請(專利權)人: 日東電工株式會社
主分類號: G02B6/13 分類號: G02B6/13
代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所 代理人: 劉新宇;張會華
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 波導 組件 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種光波導路組件的制造方法,其用于制造光波導路 組件,該光波導路組件包括:具有下敷層、形成在該下敷層的 表面的芯和覆蓋該芯的上敷層的光波導路;在該光波導路的背 面側與上述光波導路的端部相關聯地安裝的光學元件;能將光 反射而在上述芯和上述光學元件之間進行光傳播的反射部,其 特征在于,

該光波導路組件的制造方法包括如下工序:利用下述模具 成形法A或模具成形法B形成上述上敷層的同時,將與上述光波 導路的端部相對應的上敷層的端部形成為反射部;

直接在上述光波導路的下敷層的背面形成導電配線;

將上述光學元件連接于上述導電配線的與上述光波導路的 端部的上述反射部相對應的部分來安裝上述光學元件,

模具成形法A:準備成形模具,該成形模具上形成了具有 與上敷層的表面形狀相對應的模面的凹部和與該凹部的一部分 連通的注入孔,在將芯定位在該成形模具的上述凹部內的狀態 下,使該凹部的開口面與下敷層的表面緊密接觸,在該狀態下, 自上述注入孔將用于形成上敷層的感光性樹脂注入到由上述凹 部的模面、下敷層的表面、芯的表面圍成的成形空間并使該用 于形成上敷層的感光性樹脂充滿上述成形空間之后,在透過上 述成形模具利用照射線對進行曝光后進行加熱處理,使上述感 光性樹脂固化;

模具成形法B:以覆蓋芯的方式在下敷層的表面涂布了用 于形成上敷層的感光性樹脂后,適當地調整對該涂布層的照射 線的曝光、加熱處理來形成半固化的感光性樹脂層,或者,通 過涂布上述感光性樹脂來形成未固化的感光性樹脂層,使形成 了具有與上敷層的表面形狀相對應的模面的凹部而未形成有與 該凹部連通的注入孔的成形模具對半固化或未固化的感光性樹 脂層進行沖壓,將芯定位在該成形模具的上述凹部內并且使該 凹部的開口面與下敷層的表面緊密接觸,在該狀態下,在透過 上述成形模具利用照射線對進行曝光后進行加熱處理,使上述 感光性樹脂層固化。

2.根據權利要求1所述的光波導路組件的制造方法,其特 征在于,

將上述上敷層的端部形成為反射部的工序是將上敷層本身 的端部形成為截面呈弧狀的曲面的工序。

3.根據權利要求2所述的光波導路組件的制造方法,其特 征在于,

上述截面呈弧狀的曲面是截面為大約1/4圓面的曲面。

4.根據權利要求2所述的光波導路組件的制造方法,其特 征在于,

將上述上敷層的端部形成為反射部的工序包括:將上敷層 本身的端部形成為截面呈弧狀的曲面的工序;還在所形成的曲 面上形成金屬膜的工序。

5.根據權利要求1~4中任一項所述的光波導路組件的制 造方法,其特征在于,

上述光學元件是將光相對于上述芯射出的發光元件,上述 反射部對來自上述發光元件的射出光進行反射。

6.根據權利要求1~4中任一項所述的光波導路組件的制 造方法,其特征在于,

上述光學元件是接受來自上述芯的光的受光元件,上述反 射部對來自上述芯的光進行反射。

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