[發(fā)明專(zhuān)利]光波導(dǎo)路組件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910135509.6
• 申請(qǐng)日: 2009-04-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101561532A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 清水裕介
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G02B6/13
• 分類(lèi)號(hào): G02B6/13
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光通信、光信息處理、其它一般光學(xué)中廣 泛應(yīng)用的光波導(dǎo)路組件的制造方法。

背景技術(shù)

如圖7所示，光波導(dǎo)路組件例如包括：基板81；形成在該基 板81的表面的、由下敷層84、芯85、上敷層86構(gòu)成的光波導(dǎo)路； 安裝在上述基板81的背面的發(fā)光元件31和受光元件32。上述發(fā)光 元件31和受光元件32的電極31a、31b分別與導(dǎo)電配線83連接。 并且，在發(fā)光元件31的上方和受光元件32的上方，在上述基板81 上形成有作為光路的通孔88，以便能借助于光波導(dǎo)路將來(lái)自發(fā)光 元件31的光(光信號(hào))L傳播到受光元件32上，并且光波導(dǎo)路的 兩端部定位在兩通孔88的上方。該光波導(dǎo)路的兩端部形成為相對(duì) 于光軸傾斜45°的傾斜面，該傾斜面的與芯85相對(duì)應(yīng)的部分形成 為光路變換鏡85a(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

上述光波導(dǎo)路組件中的光L的傳播如下所述這樣進(jìn)行。首 先，光L從發(fā)光元件31射出到上方。該光L通過(guò)上述基板81的通 孔88后，穿過(guò)光波導(dǎo)路的一端部(在圖7中的左端部)的下敷層 84，入射到芯85的一端部。接著，該光L由芯85的一端部的光 路變換鏡85a反射(光路發(fā)生90°變換)，被引導(dǎo)到芯85的里側(cè)。 然后，該光L在芯85內(nèi)傳播到另一端部(圖7中的右端部)。接 著，該光L由上述另一端部的光路變換鏡85a向下方反射(光路 發(fā)生90°變換)，穿過(guò)下敷層84而從光波導(dǎo)路射出。然后，該光 L通過(guò)上述基板81的通孔88后，傳播到受光元件32上。

而且，為了降低光波導(dǎo)路與發(fā)光元件31或受光元件32之間 的光L的耦合損失，如圖8所示，提出了將與光波導(dǎo)路兩端部的 光路變換鏡95a相對(duì)應(yīng)的下敷層96的表面部分形成為凸?fàn)钔哥R 部96a(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2、3)。即，在光波導(dǎo)路的一端部 中，從發(fā)光元件31射出的光L被上述凸?fàn)钔哥R部96a聚光，以該 聚光狀態(tài)被引導(dǎo)到芯95的一端部的光路變換鏡95a。在光波導(dǎo)路 的另一端部中，由芯95的另一端部的光路變換鏡95a反射的光被 上述凸?fàn)钔哥R部96a聚光，以該聚光狀態(tài)朝著受光元件32射出。 利用這樣的上述凸?fàn)钔哥R部96a的聚光作用，降低了光L的耦合 損失。另外，在圖8中，附圖標(biāo)記94是下敷層。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2007-4043號(hào)公報(bào)(段落0096～0100 以及圖25、26、32、34)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2003-172837號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2006-154335號(hào)公報(bào)

但是，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1～3中，為了形成光路變換鏡(傾 斜面)85a、95a，需要利用旋轉(zhuǎn)刀具等切削光波導(dǎo)路兩端部，生 產(chǎn)效率差。并且，光路變換鏡85a、95a的形成是利用旋轉(zhuǎn)刀具 等的切削時(shí)，其切斷角度(傾斜面的角度)、切斷面(傾斜面) 的平面度等精度易于產(chǎn)生偏差。光路變換鏡85a、95a的精度不 夠時(shí)，無(wú)法恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行光路變換，光L的耦合損失變大。而且， 在專(zhuān)利文獻(xiàn)2、3中，形成凸?fàn)钔哥R部96a時(shí)要求其與光路變換鏡 95a的定位精度，凸?fàn)钔哥R部96a的形成很困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而做成的，其目的在于提供一種光 波導(dǎo)路組件的制造方法，能以穩(wěn)定的精度形成光的反射部，其 生產(chǎn)效率高。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的光波導(dǎo)路組件的制造方法， 其用于制造光波導(dǎo)路組件，該光波導(dǎo)路組件包括：在表面?zhèn)染? 有芯和覆蓋該芯的上敷層的光波導(dǎo)路；在該光波導(dǎo)路的背面?zhèn)? 與上述光波導(dǎo)路的端部相關(guān)聯(lián)地安裝的光學(xué)元件；能將光反射 而在上述芯和上述光學(xué)元件之間進(jìn)行光傳播的反射部，該光波 導(dǎo)路組件的制造方法采取具有如下工序的結(jié)構(gòu)：利用模具成形 法形成上述上敷層的同時(shí)，將與上述光波導(dǎo)路的端部相對(duì)應(yīng)的 上敷層的端部形成為反射部。

在本發(fā)明的光波導(dǎo)路組件的制造方法中，利用模具成形法 形成光波導(dǎo)路的上敷層的同時(shí)，在上敷層上也形成反射部。因 此，能穩(wěn)定(無(wú)偏差)地形成上敷層的形狀。并且，也能以穩(wěn) 定的精度形成上敷層端部的反射部。由此，在所制造的光波導(dǎo) 路組件中，在借助于上述反射部的、芯和光學(xué)元件之間的光傳 播中，能恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行上述反射部中的光反射(光路變換)，能減 少光的耦合損失。而且，利用模具成形法上述反射部與上敷層 同時(shí)形成，因此形成反射部不需要旋轉(zhuǎn)刀具等的切削工序(現(xiàn) 有技術(shù)的光路變換鏡部分(傾斜面)的形成工序)，提高了光波 導(dǎo)路的生產(chǎn)效率，其結(jié)果，提高了光波導(dǎo)路組件的生產(chǎn)效率。