[發明專利]光波導路組件的制造方法

有效

• 申請號: 200910135509.6
• 申請日: 2009-04-17
• 公開（公告）號: CN101561532A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: 清水裕介
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/13
• 分類號: G02B6/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光波導路組件的制造方法，其用于制造光波導路 組件，該光波導路組件包括：具有下敷層、形成在該下敷層的 表面的芯和覆蓋該芯的上敷層的光波導路；在該光波導路的背 面側與上述光波導路的端部相關聯地安裝的光學元件；能將光 反射而在上述芯和上述光學元件之間進行光傳播的反射部，其 特征在于，

該光波導路組件的制造方法包括如下工序：利用下述模具 成形法A或模具成形法B形成上述上敷層的同時，將與上述光波 導路的端部相對應的上敷層的端部形成為反射部；

直接在上述光波導路的下敷層的背面形成導電配線；

將上述光學元件連接于上述導電配線的與上述光波導路的 端部的上述反射部相對應的部分來安裝上述光學元件，

模具成形法A：準備成形模具，該成形模具上形成了具有 與上敷層的表面形狀相對應的模面的凹部和與該凹部的一部分 連通的注入孔，在將芯定位在該成形模具的上述凹部內的狀態 下，使該凹部的開口面與下敷層的表面緊密接觸，在該狀態下， 自上述注入孔將用于形成上敷層的感光性樹脂注入到由上述凹 部的模面、下敷層的表面、芯的表面圍成的成形空間并使該用 于形成上敷層的感光性樹脂充滿上述成形空間之后，在透過上 述成形模具利用照射線對進行曝光后進行加熱處理，使上述感 光性樹脂固化；

模具成形法B：以覆蓋芯的方式在下敷層的表面涂布了用 于形成上敷層的感光性樹脂后，適當地調整對該涂布層的照射 線的曝光、加熱處理來形成半固化的感光性樹脂層，或者，通 過涂布上述感光性樹脂來形成未固化的感光性樹脂層，使形成 了具有與上敷層的表面形狀相對應的模面的凹部而未形成有與 該凹部連通的注入孔的成形模具對半固化或未固化的感光性樹 脂層進行沖壓，將芯定位在該成形模具的上述凹部內并且使該 凹部的開口面與下敷層的表面緊密接觸，在該狀態下，在透過 上述成形模具利用照射線對進行曝光后進行加熱處理，使上述 感光性樹脂層固化。

2.根據權利要求1所述的光波導路組件的制造方法，其特 征在于，

將上述上敷層的端部形成為反射部的工序是將上敷層本身 的端部形成為截面呈弧狀的曲面的工序。

3.根據權利要求2所述的光波導路組件的制造方法，其特 征在于，

上述截面呈弧狀的曲面是截面為大約1/4圓面的曲面。

4.根據權利要求2所述的光波導路組件的制造方法，其特 征在于，

將上述上敷層的端部形成為反射部的工序包括：將上敷層 本身的端部形成為截面呈弧狀的曲面的工序；還在所形成的曲 面上形成金屬膜的工序。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的光波導路組件的制 造方法，其特征在于，

上述光學元件是將光相對于上述芯射出的發光元件，上述 反射部對來自上述發光元件的射出光進行反射。

6.根據權利要求1～4中任一項所述的光波導路組件的制 造方法，其特征在于，

上述光學元件是接受來自上述芯的光的受光元件，上述反 射部對來自上述芯的光進行反射。