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[其他]一種用于盤形分子泵的抽氣圓盤無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 87208695 申請日: 1987-06-03
公開(公告)號: CN87208695U 公開(公告)日: 1988-09-14
發(fā)明(設(shè)計)人: 王孝珍;朱岳;竺長新 申請(專利權(quán))人: 中國科學(xué)院北京真空物理實驗室
主分類號: F04B37/14 分類號: F04B37/14
代理公司: 中國科學(xué)院專利事務(wù)所 代理人: 李紅
地址: 北京海淀*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種盤形分子泵中圓盤上抽氣溝槽的改進(jìn),該抽氣圓盤的一側(cè)或兩側(cè)盤面上開有若干個呈放射狀的沿圓周均勻分布的圓弧線形抽氣溝槽,即抽氣溝槽槽壁的線形為圓弧線形。弧長S由公式S=Ryθ來確定。每條弧線對應(yīng)的圓心位于半徑為Rx的圓周上。當(dāng)Rx,Ry,取成無窮大,θ為π時,圓弧線形槽便成為直線形槽。
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 分子 圓盤
【主權(quán)項】:
1、本實用新型提出了一種可用于盤形分子泵的抽氣圓盤,其特征在于抽氣圓盤的一側(cè)或兩側(cè)面上開有沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形抽氣溝槽或直線形抽氣溝槽,即抽氣溝槽槽壁的線形為圓弧線形或直線形。
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