[其他]一種用于盤形分子泵的抽氣圓盤

無效

• 申請號: 87208695
• 申請日: 1987-06-03
• 公開（公告）號: CN87208695U
• 公開（公告）日: 1988-09-14
• 發明（設計）人: 王孝珍;朱岳;竺長新
• 申請（專利權）人: 中國科學院北京真空物理實驗室
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14
• 代理公司: 中國科學院專利事務所
• 代理人: 李紅

本實用新型涉及盤形分子泵中圓盤上抽氣溝槽的改進。

目前盤形分子泵或含有盤形結構的復合分子泵中的盤形結構部分的每一級通常由一旋轉的平板圓盤和一片在盤面上開有抽氣溝槽的靜止抽氣圓盤構成。盡管盤形分子泵由盤形分子泵構成的復合分子泵具有較廣泛的應用前景，但由于現有的抽氣圓盤其盤面上所開抽氣溝槽的線形是阿基米德螺線形抽氣溝槽或中國發明專利號GK85105304提出的對數線形抽氣溝槽，使得加工工藝復雜而不易實現，因此限制了這類泵的發展。

本實用新型的任務是在不降低現有的抽氣圓盤性能的條件下，提出了一種加工工藝簡單，便于實現的抽氣圓盤。這種抽氣圓盤盤面上開有若干個抽氣溝槽，每個抽氣溝槽的槽壁線形為圓弧線形。

本實用新型提出的帶有圓弧線形抽氣溝槽的抽氣圓盤是通過下述技術方案實現的。

本實用新型提出的抽氣圓盤為環狀，在其一側或兩側盤面上開有若干個沿盤面圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形抽氣溝槽，即抽氣溝槽的槽壁線形為圓弧線形。圓弧線形槽壁的兩端分別位于環形抽氣圓盤的內外圓周上。圓弧線形槽壁的弧長S由等式S＝Ryθ來確定。Ry為該圓弧線所對應的曲率半徑，θ是弧長為S，曲率半徑為Ry的圓弧線形槽壁對應的張角。同一側面上所開的所有圓弧線形抽氣溝槽的圓弧線形槽壁的弧長S都相同，并且所有圓弧線形槽壁所對應的圓心都在與抽氣圓盤同心半徑為Rx的圓周上。如果兩側盤面上都開有圓弧線形抽氣溝槽，其線形走向根據泵的設計要求可以相同也可以相反。兩側盤面上抽氣溝槽的數目和槽的深度根據泵的設計要求也可以相同或不同。而且兩側盤面上確定圓弧線形槽壁的參數Ry、Rx、θ可以相同也可以不同。當θ等于π，Rx、Ry為無窮大時，圓弧線形抽氣溝槽就變成直線形抽氣溝槽。本實用新型提出的抽氣圓盤，其盤面上所開的圓弧線形抽氣溝槽的橫截面形狀根據設計的要求可以是矩形，階梯矩形或一直角邊與盤面重合的直角三角形。

附圖說明：

圖1是本發明提出的兩側盤面上開有圓弧線形抽氣溝槽的抽氣圓盤視圖和剖視圖。

圖2是幾種不同橫截面形狀抽氣溝槽的橫截面展開剖面圖。

附圖說明

1.抽氣圓盤內圓周

2.抽氣圓盤外圓周

3.圓弧線形抽氣溝槽

4.抽氣溝槽的圓弧線形槽壁：

A.橫截面為一直角邊與盤面重合的直角三角形的抽氣溝槽橫截面展開剖面圖

B.橫截面為矩形的抽氣溝槽橫截面展開剖面圖

C.橫截面為階梯矩形的抽氣溝槽橫截面展開剖面圖

下面結合附圖對本實用新型提出的抽氣圓盤的結構進行詳細說明。

參照圖1，抽氣圓盤的內圓周［1］和外圓周［2］分別由R₁和R₂確定，圓弧線形抽氣溝槽［3］的圓弧線形槽壁［4］的弧長S由等式S＝Ryθ來確定。所有圓弧線形槽壁［4］對應的圓心都位于由Rx確定的圓周上。圓弧線形槽壁［4］的兩端分別位于抽氣圓盤的內圓周［1］和外圓周［2］上。圓弧線形抽氣溝槽［3］的深度d由泵的設計參數確定。

實施例：

本實用新型提出的帶有圓弧線形抽氣溝槽的抽氣圓盤曾被用在抽速為450升／秒的帶有盤形結構的復合分子泵中，以代替原泵中帶有對數螺線形抽氣溝槽的抽氣圓盤。采用本實用新型提出的抽氣圓盤組成的帶有盤形結構的復合分子泵，其各項抽氣性能指標均不低于原有泵的抽氣性能指標，即抽速仍能達到450升／秒，并且有所提高，對氮氣的壓縮比仍可以達到10⁸。