[其他]一種用于盤形分子泵的抽氣圓盤無效
| 申請號： | 87208695 | 申請日： | 1987-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN87208695U | 公開（公告）日： | 1988-09-14 |
| 發明（設計）人： | 王孝珍;朱岳;竺長新 | 申請（專利權）人： | 中國科學院北京真空物理實驗室 |
| 主分類號： | F04B37/14 | 分類號： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 中國科學院專利事務所 | 代理人： | 李紅 |
| 地址： | 北京海淀*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 分子 圓盤 | ||
【權利要求書】：
1、本實用新型提出了一種可用于盤形分子泵的抽氣圓盤，其特征在于抽氣圓盤的一側或兩側面上開有沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形抽氣溝槽或直線形抽氣溝槽，即抽氣溝槽槽壁的線形為圓弧線形或直線形。
2、權利要求1所述的抽氣圓盤，其特征在于抽氣溝槽的圓弧線形槽壁的弧長S由S＝Ryθ來確定，而盤面上所有圓弧線形槽壁所對應的圓心都位于半徑為Rx的圓周上，該圓周的圓心與抽氣圓盤的圓心重合。
3、權利要求1或2所述的抽氣圓盤，其特征在于抽氣溝槽基本呈矩形，或階梯矩形，或一直角邊與盤面重合的直角三角形。
4、權利要求1或2所述的抽氣圓盤，其特征在于當Ry、Rx為無窮大，θ為π時，圓弧線形抽氣溝槽就成為直線形抽氣溝槽。
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