[其他]薄狀物等離子體處理裝置無效
| 申請號： | 87104097 | 申請日： | 1987-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN87104097A | 公開（公告）日： | 1988-03-09 |
| 發明（設計）人： | 小山元靖;寺岡英朗;赤木孝夫;山口新司;坂本逸樹;波明;岡垣勛 | 申請（專利權）人： | 可樂麗股份有限公司 |
| 主分類號： | B01J19/08 | 分類號： | B01J19/08 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖掬昌,程天正 |
| 地址： | 日本岡山縣*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 薄狀物等離子體處理裝置包括固定在貫穿真空容器里的轉軸上、與轉軸一起旋轉的滾筒形第一放電電極，薄狀物被安置沿著第一放電電極的外圓周移過。處理裝置還包括在真空器里與第一放電電極相對安裝的第二放電電極。真空容器與連接這兩個放電電極的電路是絕緣的，兩個放電電極之間相互絕緣，這些絕緣零件安插在第一放電電極滾筒的圓柱體與轉軸之間。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 薄狀物 等離子體 處理 裝置 | ||
【主權項】：
1、薄狀物等離子體處理裝置的特征是：滾筒形第一放電電極和與第一放電電極相對的第二放電電極安裝在真空容器內，滾筒形第一放電電極固定在穿通真空容器的轉軸上，與轉軸一起轉動，薄狀物在其外面移動，上述真空容器與連接上述兩個放電電極的電子回路是電絕緣的，在上述第一放電電極的圓筒部分與上述轉軸之間裝有使二者保證電絕緣的絕緣另件。
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