[其他]薄狀物等離子體處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87104097
• 申請日: 1987-06-09
• 公開（公告）號: CN87104097A
• 公開（公告）日: 1988-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小山元靖;寺岡英朗;赤木孝夫;山口新司;坂本逸樹;波明;岡垣勛
• 申請（專利權(quán)）人: 可樂麗股份有限公司
• 主分類號: B01J19/08
• 分類號: B01J19/08
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖掬昌,程天正

本發(fā)明是關(guān)于薄狀物的等離子體處理裝置，具體說來，就是在處于等離子體氣氛的真空容器內(nèi)，把薄狀物卷貼于轉(zhuǎn)動的滾筒形放電電極的外表面，進(jìn)行低溫等離子體處理的裝置。

近年來，等離子體處理作為改善薄狀物（譬如塑料薄膜、布帛等）的化學(xué)、物理、力學(xué)、光學(xué)和靜電性質(zhì)以及表面構(gòu)造的處理方法而受到重視。也就是說，通過等離子體處理，可以改善薄狀物的迭合性能、摩擦特性、手感、光澤和染色牢度，以及防止發(fā)生靜電、表面老化、起毛和粘合，并可使染色物的顏色鮮艷，這是人們早已熟知的（例如，參見日本特開昭57-18737號公報和特開昭60-149441號公報）。

先有的這種薄狀物等離子體處理裝置是把滾筒形放電電極和與它相對的棒狀放電電極裝在真空容器內(nèi)，滾筒形放電電極固定在穿通真空容器的轉(zhuǎn)軸上。并且連接上述兩個放電電極的電子回路與真空容器絕緣，從而可防止兩個放電電極向真空容器產(chǎn)生等離子體放電而消耗電力。

但在先有的裝置中，由于滾筒形放電電極是直接固定在轉(zhuǎn)軸上的，所以轉(zhuǎn)軸也處于充電狀態(tài)，棒狀放電電極也向轉(zhuǎn)軸發(fā)生等離子體放電，導(dǎo)致浪費電力。

另外，由于要處理的薄狀物的幅面均較寬，薄狀物等離子體處理裝置通常是一個大型設(shè)備，為了使之能在工業(yè)上應(yīng)用，必須具備與巨額設(shè)備費相稱的處理能力。也就是說，必須通過把產(chǎn)生等離子體氣氛的等離子體處理裝置原本就很大的輸入功率進(jìn)一步增大，提高等離子體密度，從而增強處理能力。但在處于電阻很小的等離子體氣氛的真空容器內(nèi)，增大上述輸入功率時，在用作放電的電子回路與真空容器之間，局部范圍將產(chǎn)生較大的導(dǎo)電不均勻，而電子回路在真空容器內(nèi)是相互絕緣的，因此，在局部角落（譬如穿通真空容器的轉(zhuǎn)軸與靠近轉(zhuǎn)軸的真空容器之間的那部分區(qū)域）將導(dǎo)致絕緣不良，致使真空容器內(nèi)有電流通過，使真空容器的內(nèi)壁發(fā)光，并產(chǎn)生瞬時的異常弧光放電。因此，等離子體的放電狀態(tài)將變得不穩(wěn)定，以致不能連續(xù)運轉(zhuǎn)。

鑒于先有裝置存在上述問題，本發(fā)明的目的旨在提供一種在大功率狀態(tài)下可連續(xù)運轉(zhuǎn)、并可防止浪費電力、能在工業(yè)上應(yīng)用的薄狀物等離子體處理裝置。

為了達(dá)到上述目的，在本發(fā)明的薄狀物等離子體處理裝置中，真空容器與連接滾筒形第一放電電極和與該電極相對的第二放電電極的電子回路是絕緣的，并且在上述滾筒形第一放電電極的圓筒部分與穿通真空容器的轉(zhuǎn)軸之間裝有絕緣另件。

按照本發(fā)明，和先有裝置一樣，真空容器與電子回路是絕緣的，所以可防止等離子體向真空容器放電而引起的損耗。另外，由于轉(zhuǎn)軸與圓筒部分之間裝有絕緣另件，整個轉(zhuǎn)軸與第一放電電極是絕緣的，所以不會發(fā)生第二放電電極對轉(zhuǎn)軸的等離子體放電。

此外，因轉(zhuǎn)軸與第一放電電極絕緣，并且真空容器與連接第一和第二放電電極的電子回路絕緣，所以不會發(fā)生局部角落（譬如穿通真空容器的轉(zhuǎn)軸與靠近轉(zhuǎn)軸的真空容器之間的那部分區(qū)域）的絕緣不良，從而不會產(chǎn)生異常的弧光放電。

下面，參照圖紙說明本發(fā)明的實施例。

圖1是本發(fā)明的第1個實施例，滾筒形的滾筒電極（第一放電電極）2和第二放電電極3平行地安裝在真空容器1內(nèi)，第二放電電極3由與滾筒電極2相對的多根棒狀電極組成。交流電源4通過變壓器5和連接上述放電電極2和3的電子回路6，把電壓加在這兩個放電電極2和3之間。

上述真空容器1由不銹鋼制成，利用內(nèi)裝等離子體處理氣體的氣體容器7和用來使真空容器1內(nèi)抽成真空的真空抽氣機8使其內(nèi)部保持為充有極低氣壓的等離子體處理氣體的狀態(tài)。真空容器1的兩側(cè)通過法蘭盤分別與內(nèi)部安裝有卷出機11和卷取機13的其他真空容器1A和1B連接。A是薄狀物，從卷出機11經(jīng)多個導(dǎo)輥12從轉(zhuǎn)動的滾筒電極2的外表面通過，卷到卷取機13上。也就是說，卷出機11上的薄狀物A通過保持為等離子體氣氛的真空容器1內(nèi)的滾筒電極2的連續(xù)低溫等離子體處理后，卷到卷取機13上。