[其他]斜行光干涉儀伸縮計量方法及裝置無效
| 申請號： | 86104916 | 申請日： | 1986-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN86104916A | 公開（公告）日： | 1988-02-17 |
| 發明（設計）人： | 李志超;黃文浩 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | G01B15/08 | 分類號： | G01B15/08;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中國科學院合肥專利事務所 | 代理人： | 趙烏蘭 |
| 地址： | 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一種斜行光干涉儀伸縮計量方法及裝置。屬于長度計量技術領域。本發明方法采用二支或二支以上光束，利用不同行進方向光束的干涉光極大值間距對應于不同伸縮位移量值的關系，求出待測量值。本發明裝置采用普通非穩頻激光器和簡單法布里·白洛干涉儀，通過干涉儀、分束鏡和反射鏡的放置，以及測出干涉光極大值對應的壓電陶瓷電壓值，實現上述方法。本發明可使量程達50λ以上，具備埃量級的分辨力。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 斜行光 干涉儀 伸縮 計量 方法 裝置 | ||
【主權項】：
1、一種用法布里·白洛干涉儀測量微小位移或伸縮的方法，其特征在于采用二支或二支以上具有相同波長的光束，至少有一支光束進入法布里·白洛干涉儀時的行進方向與伸縮位移方向或干涉儀的法線方向有夾角，利用不同行進方向光束的依序相接的干涉光極大值對應于不同的伸縮位移量值的關系，求出待測量的大小。
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