[其他]斜行光干涉儀伸縮計量方法及裝置

無效

• 申請號: 86104916
• 申請日: 1986-08-08
• 公開（公告）號: CN86104916A
• 公開（公告）日: 1988-02-17
• 發明（設計）人: 李志超;黃文浩
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G01B15/08
• 分類號: G01B15/08;G01B9/02
• 代理公司: 中國科學院合肥專利事務所
• 代理人: 趙烏蘭

1、一種用法布里·白洛干涉儀測量微小位移或伸縮的方法，其特征在于采用二支或二支以上具有相同波長的光束，至少有一支光束進入法布里·白洛干涉儀時的行進方向與伸縮位移方向或干涉儀的法線方向有夾角，利用不同行進方向光束的依序相接的干涉光極大值對應于不同的伸縮位移量值的關系，求出待測量的大小。

2、一種實現如權利要求1所述方法的裝置，它由機械系統、光電系統、測量顯示系統組成，其中：

（1）.機械系統有平行彈簧導軌[3]，中心測桿[15]，

（2）.光電系統包括普通非穩頻激光器[4]，壓電陶瓷管[5]，法布里·白洛干涉儀[6和（或）7，8]，光電管[9]，反射鏡和分束鏡[14]，使壓電陶瓷做掃描運動的電壓發生器，

（3）.測量顯示系統包含光電信號放大器[11]、數字電壓表[12]、接口[13]、和（或）示波器[10]，

其特征在于法布里·白洛干涉儀[6和（或）7，8]、反射鏡和分束鏡[14]的放置，使得法布里·白洛干涉儀的法線和光束之中，至少有一個與伸縮位移方向有夾角。