[其他]沉積垂直方向電阻的方法在審
| 申請號: | 101986000007982 | 申請日: | 1986-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN1005880B | 公開(公告)日: | 1989-11-22 |
| 發明(設計)人: | 利澳波多·D·邱;陳士歐;林義雄 | 申請(專利權)人: | 英特爾公司 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 中國專利代理有限公司 | 代理人: | 吳增勇;肖春京 |
| 地址: | 美國.加*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 經過改良的、用于MOS集成電路的電阻。在一層隔離兩個導電區域的絕緣層里開一個孔。通過等離子增強的化學氣相沉積法,如同富硅氮化物的鈍化材料便被沉積在該窗口之中,該沉積物與兩個導電區都接觸、從而在這兩區之間形成垂直方向的電阻。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 沉積 垂直 方向 電阻 方法 | ||
【主權項】:
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