[實用新型]熱解氮化硼氣相沉積爐

無效

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• 申請日: 1992-09-29
• 公開（公告）號: CN2136445Y
• 公開（公告）日: 1993-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙風(fēng)鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院金屬研究所
• 主分類號: F27B14/00
• 分類號: F27B14/00
• 代理公司: 中國科學(xué)院沈陽專利事務(wù)所
• 代理人: 閔憲智

本實用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積爐，特別是用于制造熱解氮化硼制品的化學(xué)氣相沉積爐。

氮化硼具有很高的熱穩(wěn)定性，其制品在高新技術(shù)領(lǐng)域許多新材料的制備過程中是不可缺少的用具。用氣相沉積法制作的熱解氮化硼制品，壁薄、密度高、強度高、省料，且成品率高，成為氮化硼產(chǎn)品制備中一種很常用的方法，特別是熱解氮化硼坩鍋的制備。通常的氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等幾部分，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口與之相對，為使氣相沉積均勻，進氣口常采用同心圓筒的方式，模具對準(zhǔn)進氣口，當(dāng)制作尺寸的熱解氮化硼制品時，還看不出太大缺點，但是當(dāng)制品尺寸較大時，另形成較厚的鍋底，而側(cè)壁較薄，同時由于原料氣在空間分布的不均勻，壁厚分布不均勻的現(xiàn)象時有發(fā)生。

本實用新型的目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積爐，用其能生產(chǎn)出壁厚更加均勻的熱解氮化硼制品。

本實用新型所提供的沉積爐由爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等部分組成，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口與之相對，其特征在于：在同心圓筒進氣口的頂端加一頂蓋，模具通過一支持桿通向爐體外部，可以與轉(zhuǎn)動手柄相連，也可以與電動機相連，以便使其在沉積過程中不斷轉(zhuǎn)動，由于加了頂蓋，混合好的氣體，不再直噴向上，而是得到分散，從而避免了底厚壁薄的現(xiàn)象發(fā)生。同時由于模具在沉積過程中可以不斷轉(zhuǎn)動，基體各部位的沉積條件得到平均，壁厚分布均勻。下面結(jié)合附圖通過實施例詳敘本實用新型，其中：

圖1為一種氣相沉積爐示意圖。

實施例

參照圖1，進氣口9為同心圓筒式，位于爐體2的底部，模具3正對進氣口上部，用支持桿1通向爐體外部，支持桿1通過齒輪傳動方式與電機5相連接，模具3外部套有加熱體7，進氣口9頂端有傘形的帶有分散孔8的頂蓋4，出氣口6與進氣口正相對，用上述氣相沉積爐，分別制作的三種尺寸熱解氮化硼坩鍋，工藝條件分述如下：

1、φ80mm，爐溫1900℃混合氣N₂：NH₃：BCl＝4：1.5：1.0，爐壓2mm Hg高，基體每20分鐘轉(zhuǎn)一圈，保溫15小時，隨爐冷至室溫，出爐，測得壁厚0.8mm均勻。

2、φ100mm，爐溫1900℃，N₂：NH₃：BCl＝5：1.5：1.0，爐壓2mm Hg高 每20分鐘轉(zhuǎn)一周，保溫18小時，測得成品壁厚0.9mm，均勻。

3、φ120mm爐溫1850℃，N₂：NH₃：BCl＝6：1.5：1.2爐壓2mm Hg每20分鐘轉(zhuǎn)一周，保溫20小時。

成品出爐后測得壁厚1.0mm均勻。