[實用新型]熱解氮化硼氣相沉積爐無效
| 申請號： | 92235683.1 | 申請日： | 1992-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN2136445Y | 公開（公告）日： | 1993-06-16 |
| 發明（設計）人： | 趙風鳴 | 申請（專利權）人： | 中國科學院金屬研究所 |
| 主分類號： | F27B14/00 | 分類號： | F27B14/00 |
| 代理公司： | 中國科學院沈陽專利事務所 | 代理人： | 閔憲智 |
| 地址： | 110015*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氮化 硼氣相 沉積 | ||
【權利要求書】：
1、由爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等部分組成的熱解氮化硼氣相沉積爐，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口與之相對，其特征在于在同心圓筒進氣口的頂端加一頂蓋，模具通過一支持桿通向爐體外部。
2、按權利要求1所述沉積爐，其特征在于支持桿可以與一轉動手柄相連，也可以通過齒輪與電動機相連。
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