[其他]多層超導電路襯底及其制備方法

無效

• 申請號: 88102545
• 申請日: 1988-04-27
• 公開（公告）號: CN88102545A
• 公開（公告）日: 1988-11-23
• 發明（設計）人: 今中佳彥;町敬人;山中一典;橫山博三;龜原伸男;丹羽纮一
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H05K3/40
• 分類號: H05K3/40;H05K3/46;H05K1/03;H01L39/12;H01B12/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 趙蓉民

本項發明所涉及的是多層超導電路襯底，特別是適合于高速計算機如超大型計算機上使用的多層超導電路襯底及其制備工藝。使用在高速作業中的襯底，即要求襯底上的導電材料具有低電阻，又要求襯底上的絕緣材料具有低介電常數，以確保信號的有效傳遞。

用玻璃-陶瓷材料，即陶瓷和玻璃的復合材料（介電常數ε≈5）作為絕緣材料，用銅（電阻率為＝1.7Ω·cm）作為導電材料，組成多層陶瓷襯底，這稱之為高速作業襯底（例如，參見Yogyo Kyokai年會文集，1985年，第533頁）。

日本免檢專利第60-173885號，發表于1985年11月7日，描述了超導氧化物材料BaBiO_3-6（0≤δ＜0.5），其中低于50%的鋇原子可由Sr、Pb、Sc、Y或某種鑭系元素替換，該種超導氧化物材料的超導轉變溫度約為12k，同時該專利還描述了制備超導氧化物材料BaBiO₃（0 δ＜0.5）工藝。工藝包括：將Ba和Bi的兩種化合物均勻地混合，在高于600℃溫區的氧化氣氛中煅燒混合原料;粉化煅燒過的坯體;將生成的粉末壓成體材;在700℃溫區高于10kg/cm²的氧壓氣氛中退火，以補償煅燒時損失掉的大量氧成分。

業已知道如下的氧化物超導材料：

（1）La-Bg-Cu-O系列：

參考文獻：

Bednorz：瑞士物理B（Z.Phys.B）1986年64卷等第189頁;

Uchida：日本應用物理雜志（J.J.A.P）1987年26卷第一期L1;

Chu：物理評論通訊（Phys????Rev.lett）1987年58卷第四期第405頁

Jorgensen：物理評論通訊（Phys????Rev????lett）1987年58卷第十期1024頁

（2）La-Sr-Cu-O系列

Cava：物理評論通訊，1987年58卷第四期408頁

Mattheiss：物理評論通訊（Phys????Rev????lett）1987年58卷第十期1028頁

（3）Y-Ba-Cu-O系列

Hor：物理評論通訊（Phys????Rev????lett）1987年58卷第九期911頁;

Wu：物理評論通訊（Phys????Rev????lett）1987年58卷第九期908頁。

具體地說

（1）La-Ba-Cu-O系列包括

（2）La-Sr-Cu-O系列包括

La_1.9Sr_0.1CuO₄

La_1.8Sr_0.2CuO₄：T_cf＝28.5K，T_cm＝33.1K，

T_co＝36.5K

La_1.7Sr_0.3CuO₄：T_cm＝15K，T_co＝35K

La_1.925Sr_0.075CuO₄：T_cf＝26.5K，T_cm＝34K

T_co＝52K

La_1.85Sr_0.15CuO₄：T_cf＝36K，T_cm＝37.5K，T_co＝40K

（3）Y-Ba-Cu-0系列包括

（Y_0.6Ba_0.4）₂CuO₄：T_cf＝88.5K，

＞77K，T_co≥100K

Y-Ba-Cu-O（由Keiichi????Ogawa制備）

T_cf＝77K，T_co＝100K

Y-Ba-Cu-O（由分子研究所和Tohoku大學制備）

T_c＝95K

Y_0.4Ba_0.6CuO₃（由Kazumaza Togano制備）