[其他]多層超導(dǎo)電路襯底及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 88102545
• 申請日: 1988-04-27
• 公開（公告）號: CN88102545A
• 公開（公告）日: 1988-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 今中佳彥;町敬人;山中一典;橫山博三;龜原伸男;丹羽纮一
• 申請（專利權(quán)）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H05K3/40
• 分類號: H05K3/40;H05K3/46;H05K1/03;H01L39/12;H01B12/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利代理部
• 代理人: 趙蓉民

1、多層襯底，它包括：

層壓在多層襯底上的，具有通孔的多重絕緣層；

在兩絕緣層之間的超導(dǎo)陶瓷材料的內(nèi)連接層；和

填滿在上述絕緣層孔中的超導(dǎo)陶瓷材料通孔，此孔把上述內(nèi)連接層電學(xué)上聯(lián)接在一起。

2、權(quán)利要求1中的多層襯底，其中的超導(dǎo)陶瓷材料是一種氧化陶瓷材料，一般分子式為X_aY_1-aZO_b或（X_1-aY_a）₂ZO_b，這里O＜a＜1;3 b＜4;X至少是Ba，Ca，Sr和Mg中的一個(gè)元素，Y至少是Sc，Y，La，Ce，Pr，Nd，Pm，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，Yb和Lu中的一個(gè)元素。Z至少是Cu，Ag，Au中的一個(gè)元素。

3、權(quán)利要求1中的多層襯底，其中的陶瓷超導(dǎo)體是｛（M^ⅡO）x（M^Ⅲ₂O₃）₁x｝y（CuO）₂（O）^δ，這里M代表Ba，Sr，Ca和Mg中的至少一個(gè)元素;M^Ⅱ代表Y，Sc，La，Ce，Pr，Nd，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，和Lu中的至少一個(gè)元素;0.5 X 0.9;1 Y 2;1 Z 2;δ代表氧含量與標(biāo)準(zhǔn)氧化學(xué)當(dāng)量的偏離量;氧化物超導(dǎo)材料在氮沸點(diǎn)溫度以上呈現(xiàn)出超導(dǎo)電性。

4、權(quán)利要求1中的多層襯底，其中陶瓷超導(dǎo)體為YBa₂Cu₃O₇。

5、權(quán)利要求1中的多層襯底，其中陶瓷超導(dǎo)體是超導(dǎo)氧化物Bi-Sr-Ca-Cu-O和TI-Bi-Si-Ca-Cu-O系列中的一個(gè)。

6、權(quán)利要求1中的多層襯底，它還包括包封陶瓷超導(dǎo)體內(nèi)連接層的金屬層，金屬層的金屬可選用金、銀、鉑或其合金。

7、多層襯底，包括：

層壓在多層襯底上的，具有通孔的玻璃陶瓷材料的多重絕緣層;

在上述兩絕緣層之間的超導(dǎo)陶瓷材料的內(nèi)連接層;

填滿在上述絕緣層孔中的超導(dǎo)陶瓷材料通孔，此孔把上述內(nèi)連接層電學(xué)上聯(lián)接在一起;

包封上述內(nèi)連接層和上述通孔的金屬層把內(nèi)連接層和通孔中的超導(dǎo)陶瓷材料與絕緣層隔離開，金屬層中的金屬可選用金、銀、鉑或其合金。

8、權(quán)利要求7中的多層襯底，其中玻璃陶瓷材料包含20%到50%重量百分比的氧化鋁，10%到60%重量百分比的石英玻璃，20%到40%重量百分比的玻璃或結(jié)晶化玻璃，該玻璃陶瓷材料在低于1000℃的溫度下即可燒成。

9、權(quán)利要求7中的多層襯底，其中超導(dǎo)陶瓷材料是氧化陶瓷材料，分子式為X_aY_1-aZO_b或（X_1-aY_a）₂ZO_b，這里0＜a＜1;3 b 4;X至少是Ba，Ca，Sr和Mg中的一個(gè)元素;Y至少是Sc，Y，La，Ce，Pr，Ud，Pm，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，Yb和Lu中的一個(gè)元素;Z至少是Cu，Ag和Au中的一個(gè)元素。

10、權(quán)利要求7中的多層襯底，其中用于包封的金屬層厚為5至10μm。

11、權(quán)利要求7中的多層襯底，其中內(nèi)連接層厚度為20μm。

12、權(quán)利要求11中的多層襯底，其中內(nèi)連接層厚度為20到40μm。

13、權(quán)利要求7中的多層襯底，其中金屬層還包括鈦（Ti）或硅（Si）接合劑。

14、多層襯底制備方法，包括如下步驟：

準(zhǔn)備絕緣材料素坯;

在每一素坯上成形超導(dǎo)陶瓷材料模塊;

制作穿過素坯的超導(dǎo)陶瓷材料通孔;

具有內(nèi)連接模塊和通孔的素坯層疊在一起并壓制成形;和

燒結(jié)層壓制件，這樣含有絕緣材料層，超導(dǎo)陶瓷材料內(nèi)接層和超導(dǎo)陶瓷材料通孔的多層襯底就制得了。