[其他]液晶顯示元件的測試方法

無效

• 申請號: 88102316
• 申請日: 1988-04-18
• 公開（公告）號: CN88102316A
• 公開（公告）日: 1988-11-09
• 發明（設計）人: 羅伯特·阿諾德·哈特曼;漢斯·彼得·佩洛石克
• 申請（專利權）人: 菲利浦光燈制造公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖掬昌,肖春京

本發明涉及一種測試一部分顯示器件的方法，該一部分顯示器件包括一個在至少一驅動線和一部分待形成的象素之間的開關元件在內。

在本申請書中，開關元件一詞應理解為（特別是指）薄膜晶體管（FET）、二極管和（舉例說）MIM（金屬-絕緣體-金屬），但也包括，舉例說，二極管的組合件，特別是為達到冗余的目的而用于二極管環，或由多個子元件組成的開關元件。

在較大的顯示器件-按矩陣組織的特別有效的液晶顯示器件中，開關元件的數目，因而開關元件不起作用或作用不正常的風險迅速增加。鑒于開關元件成品報廢的機會增加，因此有必要測試中間產品。問題在于，舉例說，和半導體產品不一樣，產品的功能試驗不能在較早階段（例如，舉例說，圓片上的集成電路在進行接線和最終加工之前的階段）進行。

成品這所以不能進電氣或電子測試是因為，舉例說，還得用肉眼檢查其光學開關作用。就成品（包括激勵電子線路在內）而論，從制造成本的角度考慮，如果能以簡單的方式測試（必要時修理）本身已包括整個產品很大一部分（例如，舉例說，帶開關元件的液晶顯示器件的第一支承板）的局部產品，則大有好處。這不僅可減少成品的報廢量，而且可以節約材料（特別是液晶材料、第二支承極等）。此外還可以在制造過程中的較早階段采取措施。

本發明的一個目的即提供如上述的那樣一種測試方法。

為達到此目的，本專利說明書開端所述的方法的特征在于，用能束掃描開關元件或待形成的象素的部分。

能束可以是，舉例說，電子束或光束，特別是激光束。

在這方面應該指出的是，用激光束或電子束測試半導體裝置本來是集成電路技術所周知的事。但在此技術中，通常配備有閘流晶體管（德國專利說明書31，787）、光敏開關元件（美國專利3，801，910）或另外的電源線（法國專利2，316，728）等。在顯示器件待測試的部件中額外增設上述部件可能會使這類部件的制造更加復雜。歐洲專利EP-A-0，143，039所述的測試顯示器件的方法也是有類似的缺點。此外，顯示器件成品既然是這樣進行測試，因而也就沾上了上述各項缺點。在該方法中，對各接線的測試也是通過對所增設的光電二極管進行照射進行的，這和本發明的方法是不同的，在本發明的方法中，實際開關元件是用能束對它們或有關象素進行掃描直接進行測試的。用本發明的方法進行測試時，這種額外增設部件的作法原則上是多余的。

現在參照附圖通過舉例更詳細說明本發明的內容。附圖中：

圖1是本方法的第一個實例的示意圖。

圖2是本方法供另一種結構形式的顯示器件用的另一種方案的示意圖。

圖3是荷蘭專利申請書8，502，663（PHN11.508）中所示器件的各部分測試方法的一個實例的示意圖。

圖4是有關測試特性曲線的一些實例的示意圖。

圖5是測試（必要時修理）圖1中所示的器件的類似部分的方法的示意圖。

圖1是本實例中呈矩陣形式的顯示器件10的一部分的示意圖。該矩陣包括行電極11和列電極12。在各行電極和各列電極的交叉區，液晶元件9通過一開關元件（在本實例中為薄膜場效應晶體管13）連接到行電極11和列電極12上。液晶象素包括圖象電極17。在本實例中，圖象電極17和電極11、12和晶體管13一樣系配置在同一個支承板上。此外，象素還包括在第二支承板上的對面電極18，如圖1中的虛線所示。

根據本發明，在將兩支承極固定在一起之前，先測試器件在第一支承板上的部分，然后將支承板之間的空間充以液晶材料，再進行密封。這樣做有各種不同的可能性。

根據第一個方法，薄膜場效應晶體管13的柵極15可以通過行電極11獲得一個使晶體管13導通的電壓。同時，例如，在選好晶體管13的情況下，連接到該晶體管的漏區16的圖象電極17就獲得一定量的負電荷。這可用電子束7掃描有關的圖象電極17來完成。接著就可以用一般周知的方法通過在導通的晶體管13和（連接到晶體管13的源區14的）列電極12檢測圖象電極上的電荷。檢測得出或檢測不出電荷表明晶體管13是否正常作用，或表明有否互連線存在。

相反，可以通過行電極11選擇晶體管13和通過列電極12往源區14上加電壓使得有關的圖象電極17充電，通過晶體管13使圖象電極17得到電荷。于是又可用在掃描電子顯微鏡中的電子束7掃描將圖象電極17的電荷檢測出來。這樣有可能檢測出缺陷。