[其他]液晶顯示元件的測試方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 88102316 | 申請日： | 1988-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN88102316A | 公開（公告）日： | 1988-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 羅伯特·阿諾德·哈特曼;漢斯·彼得·佩洛石克 | 申請（專利權(quán)）人： | 菲利浦光燈制造公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖掬昌,肖春京 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 液晶顯示 元件 測試 方法 | ||
1、一種測試一部分顯示器件的方法，該部分顯示器包括一個在至少一激勵線路和部分待形成的象素之間的開關(guān)元件，該方法的特點在于，用能束掃描開關(guān)元件或待形成的象素的部分。
2、如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述能束是電子束。
3、如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，待形成的象素的部分用電子束充電，且通過經(jīng)由開關(guān)元件使待形成的象素放電來測試開關(guān)元件的工作情況。
4、如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，待形成的象素的部分經(jīng)由開關(guān)元件充電，且待形成的象素的電荷供應(yīng)借助掃描電子顯微鏡進行測試。
5、如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，給待形成的象素提供電荷的充電電流借助于至少一個對輻射敏感的開關(guān)元件獲取，該開關(guān)元件可用光束，特別是激光束作選擇性照射。
6、如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述能束是光束，特別是激光束。
7、如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述開關(guān)元件包括至少一個受光束掃描的光敏半導(dǎo)體元件。
8、如權(quán)利要求1至7所述的方法，其特征在于，所述開關(guān)元件包括若干冗余元件，視測試結(jié)果而定，該冗余元件可以加入到激勵線路與待形成的象素之間的接線中，或從該接線中除去。
9、如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，用激光束形成連接或中斷連接。
10、如權(quán)利要求6至9所述的方法，其特征在于，所述光敏半導(dǎo)體元件在橫向上分開。
11、一種顯示器件，其中裝有用權(quán)利要求1至10所述的方法測試過的部件。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
