[其他]S-槍磁控濺射源

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87212023
• 申請(qǐng)日: 1987-08-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN87212023U
• 公開(kāi)（公告）日: 1988-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王德苗;梁素珍;任高潮;徐電;陳抗生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 浙江大學(xué)專利代理事務(wù)所
• 代理人: 連壽金

1、一種含有一個(gè)磁場(chǎng)源、一個(gè)陰極靶、一個(gè)靶的水冷器、一個(gè)中心陽(yáng)極以及一個(gè)屏蔽罩等構(gòu)成的S-槍磁控濺射源，其特征在于該濺射源包含一個(gè)采用導(dǎo)磁材料制成的中心陽(yáng)極，一個(gè)等厚度的陰極靶[4]，一個(gè)能使陰極靶[4]底部、側(cè)面和上極靴[9]同時(shí)得到有效冷卻的水冷器，一個(gè)使陰極靶[4]靶面始終保持潔凈工作氣氛的充氣器。

2、按照權(quán)利要求1所述的磁控濺射源，其特征在于所述的中心陽(yáng)極包含一個(gè)開(kāi)有若干個(gè)斜向孔和一個(gè)軸向通孔的陽(yáng)極頭〔1〕，一個(gè)上端設(shè)有水冷槽、軸心開(kāi)有一個(gè)上部設(shè)有內(nèi)螺紋，下部設(shè)有輻向孔的通孔的陽(yáng)極體〔3〕，以及一個(gè)在螺紋處開(kāi)有兩個(gè)豎向凹槽、連接陽(yáng)極頭〔1〕和陽(yáng)極體〔3〕的螺釘〔2〕。

3、按照權(quán)利要求1和2所述的磁控濺射源，其特征在于所述的充氣器其工作氣體自進(jìn)氣管〔5〕引入陽(yáng)極體〔3〕的中心通孔內(nèi)，其一部份通過(guò)螺釘〔2〕的凹槽和陽(yáng)極頭〔1〕的斜向孔噴出，另一部份通過(guò)陽(yáng)極體〔3〕下部若干個(gè)輻向孔后，分別由中心陽(yáng)極外側(cè)間隙和屏蔽罩〔6〕內(nèi)側(cè)間隙從陰極靶〔4〕內(nèi)側(cè)和四周?chē)娤虬忻妗?/p>

4、按照權(quán)利要求1所述的磁控濺射源，其特征在于所述的水冷器其冷卻水通過(guò)銅質(zhì)的進(jìn)水管〔7〕進(jìn)入由一個(gè)銅質(zhì)的外膽〔8〕、上極靴〔9〕、一個(gè)同陰極靶〔4〕的外側(cè)和底部相接觸的銅質(zhì)的內(nèi)膽〔10〕構(gòu)成的水冷套，自銅質(zhì)的出水管〔11〕引出。

5、按照權(quán)利要求1所述的磁控濺射源，其特征在于所述的磁場(chǎng)源含有一個(gè)為使磁力線充分飽和泄漏而將其內(nèi)側(cè)處厚度減薄的上極靴〔9〕。

6、按照權(quán)利要求1所述的磁控濺射源，其特征在于當(dāng)移去陽(yáng)極頭〔1〕和螺釘〔2〕時(shí)，可放置一個(gè)沒(méi)有內(nèi)孔的等厚的圓形陰極靶〔4′〕。