[其他]泄漏檢測器以及其工作方法

無效

• 申請號: 87105703
• 申請日: 1987-08-21
• 公開（公告）號: CN87105703A
• 公開（公告）日: 1988-10-19
• 發明（設計）人: 格羅斯·比雷·沃納;理徹·岡特
• 申請（專利權）人: 萊博爾德有限公司
• 主分類號: G01M3/04
• 分類號: G01M3/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 蔡民軍

本發明涉及一種根據對流原理工作的泄漏檢測器，該器有一個第一高真空泵，其進口側與泄漏檢測器的進口相連;一個第二高真空泵，其進口側與一臺試驗氣體檢測儀（如質譜儀）相連;和一預真空泵，其進口側與高真空泵的出口側相連。

這種類型的泄漏檢測器已由DE-PS2049117公知。把試件放在有氦氣或氦氣和空氣的混合氣體的試驗箱內，如果試件有泄漏，就有試驗氣體經漏洞流入試件內部，經過與氣流方向同向的第一高真空泵然后（因輕的氣體有相對小的可壓縮性）經過與氣流方向相反的第二高真空泵到達質譜儀（分析器管）。這種類型的泄漏檢測器當有特別嚴重的泄漏時存在著危險，即有較多的試驗氣體流入該儀器內。這不僅將導致質譜儀短時間的過載，而且導致質譜儀較長時期的污染，因為從質譜儀中徹底去除氦要相當長的抽氣時間，即使是普通的元件，特別是抽氣泵在較長時間內也要受到氦的污染，以致在過載后立即進行的泄漏測量帶有很大的誤差。

如果試件（如極普通的試件）先用一抽氣泵經一單獨的管路抽氣，直至它可與高真空泵相連接，那么當有特別嚴重的泄漏時存在著危險，即在前一抽氣期間試驗箱中的氦氣大部分或甚至全部被抽出。如果接著把試件與高真空泵相連開始泄漏檢測，那么只能發現很少試驗氣體或根本沒有。其后果是盡管試件有嚴重的泄漏卻被認為只有小的泄漏或根本沒有泄漏。

本發明是以這一任務為基礎的，即設計前面所述類型的泄漏檢測器，使得質譜儀的過載不再發生。保證能發現大泄漏，并且能在一個很寬的靈敏度范圍內自動地檢測泄漏。

本發明這一任務可這樣解決，設置一個第二預真空泵，其進口側，一路經一條設有一個伺服閥的管路與泄漏檢測器的進口相連，另一路經一條設有一個節流閥的管路與第一預真空泵的進口側相連。一個以這種方式形成的泄漏檢測器有可能在試件排氣開始時就開始泄漏檢測。為此，試件要借助第二個預真空泵排氣。如果存在一個特別嚴重的泄漏，那么在這一階段就已經有試驗氣體抽出。少量試驗氣體經過帶有節流閥用來連接這兩個抽氣泵的進口側的管路進入第二高真空泵的出口側，從那里逆著氣流方向流向質譜儀。顯然，試件中有較大的泄漏可如此確定。這一節流閥可選得足夠小，以致不存在質譜儀的過載或污染的危險。如果在檢測的第一抽氣階段沒有發現試驗氣體，那么在試件內部達到一定壓力以后，第一高真空泵的進口側可直接與試件相連，從而開始更靈敏的泄漏檢測。這一步用簡單的方法依靠試件的壓力就可自動進行。

本發明的另一些優點和細節借助于附圖中所示的實施例來闡述。

附圖表示了一臺泄漏檢測器，其進口用1表示。進口1經過相互平行的管路2（具有節流3和閥4）和5（有閥6）以及管路7與一個高真空泵9的進口側8相連。

這一高真空泵是一雙級渦輪-分子泵11的一級，其第二級用12表示。在第二級泵12的進口側13連接一個試驗氣體探測器，特別是一臺質譜儀14。高真空泵9和12的兩個出口側15和16都經預真空管路17與第一預真空泵19的進口側18相連。另外在預真空管路17上還連接有測壓點20。

這兩個渦輪-分子泵9和12共軸。其進口8和13位于渦輪-分子泵11的兩端。工作時，氣體從外向內（箭頭21）流入這兩個泵9和12，以致只存在一個預真空接口22。

此外，泄漏檢測器的進口1經具有閥24的管路23與第二預真空泵26的進口側25相連。另外有通風閥27和側壓點28連接在管路23上。

這兩個預真空泵19和26的進口側18和25經兩條平行的管路27和28相互連接。在管路27上有一個節流閥29。管路28上有一個伺服閥30。

用于自動檢測泄漏所設置的中心控制31，它經過各個沒有用有關符號表示的控制管路與伺服閥4，6，24和30以及測壓點20和28相連。

在用所述的泄漏檢測器進行泄漏檢測時采用下述方法：

首先關閉閥4，6，24和30，使泄漏檢測器處于準備工作狀態，這時接通渦輪-分子泵11和預真空泵19和26，當質譜儀14中的壓力小于10^-4毫巴時或者當渦輪-分子泵11的轉速達到其額定值并且預真空壓力（測量儀20）小于最大許可壓力（例如0.1毫巴）時，檢測器就處于準備工作狀態。

要檢查的試件32處于試驗箱33中，與泄漏檢測器的進口1相連。在試驗箱33中有試驗氣體，尤其是氦氣，如果試件有泄漏，它在泄漏檢測期間滲入試件。如果用氦氣噴射試件32，如很普通的試件，就可廢除試驗箱33。

為了進行泄漏檢測，要關閉還開著的通風閥27并且打開位于管路23上的閥24。這樣就實現了試件32與預真空泵26的連接，使得試件排氣。