[其他]泄漏檢測器以及其工作方法

無效

• 申請號: 87105703
• 申請日: 1987-08-21
• 公開（公告）號: CN87105703A
• 公開（公告）日: 1988-10-19
• 發明（設計）人: 格羅斯·比雷·沃納;理徹·岡特
• 申請（專利權）人: 萊博爾德有限公司
• 主分類號: G01M3/04
• 分類號: G01M3/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 蔡民軍

1、根據對流原理工作的泄漏檢測器，有一個第一高真空泵(9)，其進口側(8)與泄漏檢測器的進口(1)相連；一個第二高真空泵(12)，其進口側(13)與一臺質譜儀(14)相連；和一個預真空泵(19)，其進口側(18)與高真空泵(9，12)的出口側(15，16)相連，其特征是，有一個預真真空泵，其進口側，一個經過有伺服閥(24)的管路(23)與泄漏檢測器的進口(1)相連，另一路經過有節流閥(29)的管路(27)與第一預真空泵(19)的進口側(18)相連。

2、按照權利要求1的泄漏檢測器，其特征是，在連接泄漏檢測器進口（1）與第一高真空泵（9）的進口側（8）的管路（2）上串聯設置有伺服閥（4）和一個節流閥（3）。

3、按照權利要求2的泄漏檢測器，其特征是，設置有另一條管路（5），它平行于有伺服閥（4）和節流閥（3）的管路（2），管路（5）上有另一個伺服閥（6）。

4、按照權利要求1的泄漏檢測器，其特征是，可設置帶有一個可調節的節流閥的單一管路來代替連接泄漏檢測器的進口（1）與第一個高真空泵（9）的進口側（8）的管路（2，5）。

5、按照權利要求1至4任何一項的泄漏檢測器，其特征是，設置有一條平行于連接預真空泵（19，26）的進口側（18，25）帶有節流閥（29）的管路（27）并且有一個伺服閥（30）的管路（28）。

6、按照權利要求5的泄漏檢測器，其特征是，可只設置一條帶有一個可調節節流閥的管路來代替帶有節流閥（29）和閥（30）的管路（27，28）。

7、按照上述權利要求中的任何一項權利要求的泄漏檢測器，其特征是，第二預真空泵（26）的抽氣能力比第一預真空泵（19）的抽氣能力大。

8、按照上述權利要求中的任何一項權利要求的泄漏檢測器，其特征是，盡管當壓力差大約為1000巴時，位于連接預真空泵（19，26）的進口側（18，25）的管路（27）上的節流閥（29）的泄漏率大約為0.1毫巴/秒。

9、按照上述權利要求中的任何一項權利要求的泄漏檢測器，其特征是，這兩個高真空泵（9，12）是渦輪-分子泵，它們的轉子是設置在一根共同軸上，接口（13。18）相對地設置在該泵系統的兩外端面，用來連接質譜儀（14）和泄漏檢測器的進口（1），在工作時氣體從外向內流入這兩個泵，并且在這兩個泵之間設有一個共同的預真空接口（22）。

10、按照權利要求1帶有一個與泄漏檢測器的進口（1）相連的試件（32）的泄漏檢測器的工作方法，其特征是，首先建立泄漏檢測器的進口（1）與第二預真空泵（25）之間的連接。

11、按照權利要求10使得按照權利要求2的泄漏檢測器工作的方法，其特征是，在建立泄漏檢測器的進口（1）與第二預真空泵（26）的連接后，并且當試件（32）內的壓力降到大約100毫巴后，再經過節流閥（3）和閥（4）建立進口（1）和第一高真空泵（9）的連接。

12、按照權利要求11使得按照權利要求3的泄漏檢測器工作的方法，其特征是，當試件（32）內的壓力進一步下降至0.1毫巴后，無節流地接通泄漏檢測器的進口（1）與第一高真空泵（9）之間的連接。

13、按照權利要求10使得按照權利要求5的泄漏檢測器工作的方法，其特征是，當試件（32）內的壓力降至大約為0.1毫巴后，關閉泄漏檢測器的進口（1）與第二預真空泵（26）的進口側（25）之間的連接，無節流地接通泄漏檢測器的進口（1）與第一高真空泵（9）的連接以及預真空泵（19，26）的進口側（18，25）之間的連接。

14、按照權利要求13使得按照權利要求3和5的泄漏檢測器工作的方法，其特征是，當壓力大約為10^-2毫巴時關閉預真空泵（19，26）的進口側（18，25）之間的無節流連接。