[其他]半導(dǎo)體器件及其制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87104814
• 申請(qǐng)日: 1987-07-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN87104814A
• 公開(kāi)（公告）日: 1988-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山崎舜平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/00;H01L27/14;H01L21/02
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利代理部
• 代理人: 鄧明

本發(fā)明涉及至少有一個(gè)液晶顯示器件及做在共同襯底上的一個(gè)光電探測(cè)器件的光電板，具體涉及這種光電板中半導(dǎo)體器件及其制造方法。

以前所用的顯示板通常都采用m×n（其中n≥1，m≥1）個(gè)液晶顯示器件D₁₁至D₁n，D₂₁至D_1n……和D_m1至D_mn。

在這種顯示板中，一個(gè)液晶單元Cij（i＝1，2，……m;j＝1，2，……n）通過(guò)非線性元件Hij連接在行線Xi與列線Yj的交叉處。

使用這種顯示板，是經(jīng)選擇線驅(qū)動(dòng)選中的行線X₁至X_m的一行線與列線Y₁到Y(jié)_n的列線的交叉點(diǎn)的液晶單元，從而提供圖象顯示。

常規(guī)顯示板采用絕緣柵場(chǎng)效應(yīng)管（FET）作為非線性元件。制作絕緣柵場(chǎng)效應(yīng)管要求許多步驟，大致要用六至八次光掩膜。

因此，無(wú)法簡(jiǎn)單、高產(chǎn)額、低成本地制作這種常規(guī)顯示板。

再有，通常所用的寫(xiě)入板，采用了m×n個(gè)壓敏元件K₁₁至K_1n，K₂₁至K_2n，……K_m1至K_mn，其中壓敏元件Eij（其中i＝1，2……m;j＝1，2，……n）連接在行線Xi與列線Yj之間的交叉處。

這種寫(xiě)入板，用筆或類(lèi)似的工具在其上進(jìn)行加壓書(shū)寫(xiě)，在寫(xiě)入板上的書(shū)寫(xiě)軌跡的坐標(biāo)可在行線X₁至X_m，列線Y₁至Y_n上得到輸出。

但是，按規(guī)定值給軌跡下面的壓敏元件加壓是困難的，而且壓敏元件容易疲勞，響應(yīng)速度也相對(duì)比較低。

因?yàn)椋Ｒ?guī)寫(xiě)入板的缺陷是，筆或類(lèi)似工具的軌跡坐標(biāo)在行線與列線上不能高速高可靠地輸出。

再者，一直沒(méi)有提出既具有顯示板功能又具有寫(xiě)入板功能的高效板。因此，按常規(guī)作法要獲得這兩種功能，就必須同時(shí)使用顯示板和寫(xiě)入板。

日本專(zhuān)利昭和59-94736（A）公開(kāi)了一種用發(fā)光型光筆來(lái)改變顯示內(nèi)容的液晶顯示裝置，該裝置既具有顯示板功能的液晶顯示器件又具有寫(xiě)入板功能的光探測(cè)元件。但是制作這種包括有由開(kāi)關(guān)/電容器陳列的裝置需要有許多步驟，無(wú)法進(jìn)行簡(jiǎn)單、高產(chǎn)額、低成本的生產(chǎn)。

日本專(zhuān)利昭和59-116618也公開(kāi)了一種具有顯示器件和光探測(cè)器件的矩陣式液晶顯示裝置，但該裝置中采用MOS晶體管作為非線性元件，所以也無(wú)法進(jìn)行簡(jiǎn)單、高產(chǎn)額、低成本的生產(chǎn)。

因此，本發(fā)明的目的提供一種新穎的光電板，它消除了上述先有技術(shù)中的缺欠，該光電板既有顯示板功能又具有寫(xiě)入板功能，同時(shí)又具有可進(jìn)行簡(jiǎn)單、高產(chǎn)額、低成本的生產(chǎn)。

本發(fā)明的一個(gè)構(gòu)思，液晶顯示器件和光探測(cè)器件在同一襯底上形成，顯示板與寫(xiě)入板的功能可在同一塊板上實(shí)現(xiàn)，其中根據(jù)本發(fā)明的另一構(gòu)思，液晶顯示器件中至少有一個(gè)液晶單元。通過(guò)一個(gè)非線性元件對(duì)該液晶元件加驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在這種情況下，非線性元件是第一種非單晶半導(dǎo)體二極管。液晶單元中的液晶根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)是高電平還是低電平變?yōu)橥该骰虿煌该鳌Ｒ虼耍壕卧韵鄳?yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)電壓的等級(jí)給出顯示。作為非線性元件的第一非單晶半導(dǎo)體二極管是具有一個(gè)由NIN，NN-N，NP-N，NIPIN，PIP，PP-P，PNP，或PINIP結(jié)構(gòu)構(gòu)成的非單晶半導(dǎo)體迭層部件。

光探測(cè)器件至少有一個(gè)光二極管，它是第二種非單晶半導(dǎo)體二極管，與液晶顯示器件中作為非線性元件的第一非單晶半導(dǎo)體二極管的結(jié)構(gòu)相同。光二極管產(chǎn)生與照射其上的光強(qiáng)相應(yīng)的電流。因而，光二極管產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于光強(qiáng)的光探測(cè)信號(hào)。

液晶顯示器件和光探測(cè)器件中采用的具有相同結(jié)構(gòu)的非單晶半導(dǎo)體二極管能夠比常規(guī)液晶顯示器件中用作非線元件的絕緣柵場(chǎng)效應(yīng)管，更易于制造，而且產(chǎn)額高。

因而，本發(fā)明的光電板可以高產(chǎn)額，低成本，簡(jiǎn)便的制造。

本發(fā)明的另一個(gè)構(gòu)思是，液晶顯示器件至少有一個(gè)液晶顯示單元，通過(guò)非線性元件，如上面所述的第一種非單晶半導(dǎo)體二極管，對(duì)其施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)。