[其他]提高場(chǎng)效應(yīng)晶體管柱絕緣性的方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87104018 | 申請(qǐng)日： | 1987-06-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN87104018B | 公開（公告）日： | 1988-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡縉昌;龐金興;丁振亞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L21/56 | 分類號(hào)： | H01L21/56;H01L23/30 |
| 代理公司： | 湖北省專利事務(wù)所 | 代理人： | 李延瑾,朱盛華 |
| 地址： | 湖北省武*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 提高 場(chǎng)效應(yīng) 晶體 管柱 絕緣性 方法 | ||
1.一種提高場(chǎng)效應(yīng)晶體管柱絕緣性的方法，是將晶體管柱封 裝的玻璃表面，經(jīng)二官能團(tuán)的有機(jī)硅烷溶液浸漬、固化、干燥處理、 其特征在于，處理之前先經(jīng)有機(jī)溶劑清洗，而后經(jīng)有機(jī)硅烷溶液浸 泡、固化，然后置于脂肪提取器中進(jìn)行反復(fù)抽取，而后再紅外干燥， 反復(fù)以上過程3——7次后，再在干燥器中干燥，二官能團(tuán)的有機(jī) 硅烷選用雙官能團(tuán)帶苯基PH2Si(OR)2有機(jī)硅烷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于有機(jī)硅烷溶 液是用95％的乙醇作溶劑，將純度為95％以上的有機(jī)硅烷溶于 其中，用醋酸調(diào)節(jié)其P?H值為5，溶液的濃度為0.5——1摩爾。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于固化溫度為 160～175℃，固化時(shí)間為5～30分鐘。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的處理方法，其特征在于管柱在有機(jī) 硅烷溶液中的浸泡時(shí)間為1～5分鐘，在脂肪提取器中的抽取時(shí)間約 為24小時(shí)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于清洗玻璃表 面的有機(jī)溶劑為石油醚，乙醚、氯仿、丙酮。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
