[其他]高頻感應耦合等離子分析方法

無效

• 申請號: 87101801
• 申請日: 1987-03-10
• 公開（公告）號: CN87101801A
• 公開（公告）日: 1987-10-07
• 發明（設計）人: 福井勛;岡田幸治
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H05H1/16
• 分類號: H05H1/16;G01N27/62
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 王以平

本發明涉及ICP（高頻感應耦合等離子）分析方法，特別涉及ICP分析時降低運行成本的方法。

一般來說，ICP分析裝置與火花放電法和電弧法等發光分光分析裝置相比，由于其等離子區非常穩定因而具有分析精度高等等優點。

然而，過去的ICP分析裝置，由于必須保持等離子區的穩定性以及在連續分析試料時必須使每種試料的導入系統保持穩定，因此即使在不進行分析時也必須使供給等離子噴槍的氣體導入系統和產生高頻電磁場的高頻電源仍固定在分析條件下運行。與此相對，將試料導入等離子噴槍進行分析所需的時間實質上只不過10～20秒左右。這樣，與分析時實質所需時間相比，為了保持等離子區和試料導入系統的穩定性所花費的時間就太長了。由此使得輸入等離子噴槍的氬氣消耗量達10～20升/分，電力消耗量達1～2千瓦小時，特別是由于氬氣價格很貴，因而使得分析運行成本大大升高。

鑒于此，本發明以大幅度降低ICP分析時的運行成本為目的。

為達此目的，本發明的ICP分析裝置在試料霧化室和等離子噴槍間設置了試料流通管路轉換閥。

僅當進行ICP分析時，將上述轉換閥翻轉至等離子噴槍一側，試料被導入等離子噴槍，與此同時控制供給感應線圈的高頻電功率及供給等離子噴槍的氣體量使得進入等離子噴槍的試料能夠產生等離子發光狀態。

在不進行ICP分析時，將轉換閥翻轉至試料排出一側，與此同時控制供給感應線圈的高頻電功率和供給等離子噴槍的氣體量使噴槍中的等離子區維持在點火狀態。

圖1為采用本發明的ICP分析裝置的簡要構成圖，圖中示出了該裝置的各主要組成部件。

圖中，1表示ICP分析裝置整體，2是等離子噴槍，轉換閥26、噴槍冷卻用的冷卻氣體導入管道6以及維持等離子區所用的等離子氣體導入管道8分別與噴槍2相連接。

此外，10是產生高頻電磁場的感應線圈，12為用于使供給感應線圈10的高頻電功率和負載間達到阻抗匹配的阻抗匹配器，14是向感應線圈10供給高頻電能的高頻電源，16為用于控制導入等離子噴槍氣體量的氣體控制器，18是試料霧化室，20為液體試料;22為攜帶氣體的輸入管道，24為將液體試料20與攜帶氣體混合后霧化噴入霧化室18內的霧化器，26是設置在試料霧化室18和等離子噴槍2之間的試料流通管路轉換閥，28是使轉換閥26旋轉的驅動馬達，30為霧化室控制器，用來控制轉換閥26的轉換動作，32為順序控制器，用以控制高頻電源14、氣體控制器16以及霧化室控制器28的工作順序。

如圖2至圖4所示，上述轉換閥26裝有第1固定部件50和第2固定部件34，固定部件50上開有出口通道48，固定部件34上開有多個（本例中為4個）入口通道52。并且，等離子噴槍2與出口通道48相接，試料霧化室18則與入口通道52中的一個相接。其余的幾個入口通道用作試料排出通道。固定部件50和34的法蘭盤用螺栓固定從而連成一體，同時在50和34之間設有活動部件38。活動部件38上設有將入口通道52與出口通道48連通起來的通道40，同時在38的底部設有可使入口通道52相互連通的U形彎溝42，此外，旋轉軸44穿過第二固定部件34連結在活動部件38的底部中央處，以便使活動部件38可以旋轉，驅動馬達28的驅動軸則連結著旋轉軸44。

下面，說明本發明適用的ICP分析裝置的工作原理。

在不進行ICP分析時，預先將轉換閥26翻轉至試料排出位置。這樣一來，即使試料霧化室18內存在著霧化了的試料，這些試料將從轉換閥26的一個入口通道52通過U形溝42經由其它幾個入口通道52被排出而不會進入等離子噴槍2。此外，由順序控制器32分別向高頻電源14和氣體控制器16發出順序控制信號，分別使得供給感應線圈2的高頻電功率為100瓦小時左右，供給等離子噴槍的氣體總量為1.5升/分鐘左右。從而，使等離子噴槍2中的等離子區維持在點火狀態。