[發明專利]分子泵

無效

• 申請號: 87101116.6
• 申請日: 1987-10-10
• 公開（公告）號: CN1025574C
• 公開（公告）日: 1994-08-03
• 發明（設計）人: 儲繼國;徐禮霸;李懷珍;儲繼青
• 申請（專利權）人: 儲繼國
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種分子泵，由動葉輪、動密封、轉軸、靜葉輪、泵殼、進氣口和排氣口等組成，動葉輪固定在轉軸上，靜葉輪和動密封固定在泵殼上，其特征在于：所述的動葉輪、靜葉輪構成的葉輪組合中至少有一級雙拖動面的基本抽氣單元，該基本抽氣單元包括：

(1)兩只平圓盤構成的動葉輪，兩圓盤中至少有一只盤在靠近轉軸處設有氣孔，并在該圓盤外側調動密封；

(2)靜葉輪由若干條螺旋狀葉片及固定裝置組成，靜葉輪安裝在二動葉輪中間，靜葉輪上二相鄰葉片與二側的動葉輪之間的空間構成一個具有二個拖動面的抽氣槽，動、靜葉輪、轉軸、泵殼之間在徑向與軸向留有工作間隙，徑向間隙兼作氣體通道；

(3)動密封安裝在設有氣孔的動葉輪的外側，動密封與動葉輪和轉軸之間在徑向和軸向留有工作間隙，徑向間隙兼作氣體通道。

2、根據權利要求1所述的分子泵，其中所述的基本抽氣單元的動葉輪外薄內厚，靜葉輪外厚內薄。

3、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于所述的基本抽氣單元，靜葉輪葉片與半徑之間的夾角為50°-75°。

4、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于所述的基本抽氣單元，葉輪外側的葉片數目多于內側的葉片數目，相鄰抽氣單元之間不加動密封。

5、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于葉輪組合中有多級基本抽氣單元同軸安裝，這些基本抽氣單元抽氣方向相同，構成并聯抽氣。

6、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于葉輪組合中有多級基本抽氣單元同軸安裝，相鄰二級基本抽氣單元的抽氣方向相反，組成并聯抽氣。

7、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于葉輪組合中有多級基本抽氣單元同軸安裝，靠近進氣口側的基本抽氣單元并聯抽氣，靠近排氣口側的基本抽氣單元串聯抽氣。

8、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于靠近排氣口側設有至少一級盤型拖動分子泵或其他類型的拖動分子泵抽氣單元，構成復合分子泵。

9、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于靠近進氣口側設有至少一級渦輪分子泵抽氣單元，構成復合分子泵。

10、根據權利要求1或2所述的分子泵，其特征在于其排氣口側設有同軸的旋轉機械真空泵，構成復合真空泵。

11、根據權利要求6所述的分子泵，其特征在于靠近排氣口側還設有至少一級盤型拖動分子泵或其他類型的拖動分子泵抽氣單元，構成復合分子泵。

12、根據權利要求10所述的分子泵，其特征在于靠近進氣口側還設有至少一級渦輪分子泵抽氣單元，構成復合分子泵。