[發(fā)明專利]分子泵

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87101116.6
• 申請(qǐng)日: 1987-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN1025574C
• 公開（公告）日: 1994-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 儲(chǔ)繼國;徐禮霸;李懷珍;儲(chǔ)繼青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 儲(chǔ)繼國
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及一種分子泵。

中國專利CN-85105304A公開了一種盤形拖動(dòng)分子泵，這種泵雖然壓縮比較高，但是抽速較低，限制了它的進(jìn)一步推廣使用。

本發(fā)明的目的是提供一種具有二個(gè)拖動(dòng)面的，抽速較高的新穎徑流式分子泵（簡(jiǎn)稱徑流泵），以及這種泵與其他旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵構(gòu)成的復(fù)合真空泵。

本發(fā)明提供的分子泵，包括動(dòng)葉輪、動(dòng)密封、轉(zhuǎn)軸、靜葉輪、泵殼、進(jìn)氣口和排氣口，動(dòng)葉輪固定在轉(zhuǎn)軸上，靜葉輪和動(dòng)密封固定在泵殼上，其特征在于：所述的動(dòng)葉輪、靜葉輪構(gòu)成的葉輪組合中至少有一級(jí)雙拖動(dòng)面的基本抽氣單元，該基本抽氣單元包括：

1.動(dòng)葉輪由兩只平圓盤構(gòu)成，兩圓盤中至少有一只盤在靠近轉(zhuǎn)軸處設(shè)有氣孔。

2.靜葉輪由若干條螺旋狀葉片及固定裝置組成，靜葉輪安裝在二動(dòng)葉輪中間，靜葉輪上二相鄰葉片與兩側(cè)的動(dòng)葉輪之間的空間構(gòu)成一個(gè)具有二個(gè)拖動(dòng)面的抽氣槽，動(dòng)葉輪與靜葉輪之間，動(dòng)葉輪與泵殼之間，靜葉輪與轉(zhuǎn)軸之間均留有工作間隙，其中動(dòng)葉輪與泵殼和靜葉輪與轉(zhuǎn)軸之間的徑向間隙兼作氣體通道。

3.動(dòng)密封安裝在設(shè)有氣孔的動(dòng)葉輪的外側(cè)，動(dòng)密封與動(dòng)葉輪和轉(zhuǎn)軸之間在徑向和軸向留有工作間隙，其中動(dòng)密封與轉(zhuǎn)軸之間的徑向間隙兼作氣體通道。

上述基本抽氣單元可以加工成動(dòng)葉輪外薄內(nèi)厚，靜葉輪外厚內(nèi)薄，動(dòng)、靜葉輪在軸向留有相等的工作間隙。

上述基本抽氣單元的靜葉輪葉片與半徑之間的夾角的最佳值為50°-75°。靜葉輪外側(cè)的葉片數(shù)可以多于內(nèi)側(cè)的葉片數(shù)。

改變靜葉輪葉片的傾斜方向或者動(dòng)葉輪的旋轉(zhuǎn)方向，可以改變抽氣方向。

上述基本抽氣單元可以單獨(dú)構(gòu)成一臺(tái)有實(shí)用價(jià)值的分子泵。然而，若干級(jí)基本抽氣單元同軸安裝、若相鄰二級(jí)靜葉輪葉片的傾斜方向相同，可以構(gòu)成并聯(lián)抽氣、若相鄰二級(jí)靜葉輪葉片的傾斜方向相反，可以構(gòu)成串聯(lián)抽氣，將多級(jí)抽氣單元適當(dāng)串、并聯(lián)組合，可以構(gòu)成一臺(tái)性能更好的分子泵。

上述單級(jí)或多級(jí)徑流泵與其它分子泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵同軸安裝，串聯(lián)抽氣，還可以構(gòu)成各種性能優(yōu)良的復(fù)合真空泵。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：

1.本發(fā)明提出的徑流泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便，抽速和壓縮比較高，并可以構(gòu)成串、并聯(lián)組合的多級(jí)泵。

2.本發(fā)明提出的徑流式單級(jí)和多級(jí)分子泵可以與其它分子泵和旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵同軸安裝、組成各種性能優(yōu)良的復(fù)合真空泵。

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

圖1是本發(fā)明的單級(jí)徑流泵的示意圖。

圖2是本發(fā)明的靜葉輪的正視圖。

圖3是本發(fā)明的靜葉輪的側(cè)視圖。

圖4是本發(fā)明的多級(jí)徑流泵的示意圖。

圖5是本發(fā)明的復(fù)合徑流泵的示意圖。

圖6是本發(fā)明的復(fù)合分子泵的示意圖。

附圖中，1.動(dòng)葉輪、2.靜葉輪、3.單側(cè)盤形泵靜葉輪、4.轉(zhuǎn)軸、5.泵殼、6.連通氣孔、7.葉片、8.內(nèi)固定環(huán)、9.外固定環(huán)、10.雙側(cè)盤形泵靜葉輪、11.進(jìn)氣口、12.排氣口、13.電機(jī)、14.渦輪分子泵動(dòng)葉輪、15.渦輪分子泵靜葉輪。

實(shí)施例1：?jiǎn)渭?jí)徑流泵

單級(jí)徑流式分子泵如圖1所示，由動(dòng)葉輪1，靜葉輪2，動(dòng)密封3，轉(zhuǎn)軸4和泵殼5等組成。

動(dòng)葉輪1由2只平圓盤組成，左側(cè)平圓盤上設(shè)有均布的連通氣孔6，靜葉輪2如圖2、3所示，由12條螺旋狀葉片7，及內(nèi)外固定環(huán)8和9組成、圖2中僅示出3條葉片，葉片7與靜葉輪半徑間的夾角近似為60°，葉片厚度約為1毫米，葉片寬度與靜葉輪半徑之比為0.08。

動(dòng)葉輪1固定在轉(zhuǎn)軸4上，靜葉輪2插在二只動(dòng)葉輪圓盤中間，動(dòng)密封安裝在設(shè)有連通氣孔6的動(dòng)葉輪左側(cè)，靜葉輪和動(dòng)密封與泵殼5固定在一起，動(dòng)輪1與靜葉輪2，動(dòng)密封3之間的軸向隙為0.5毫米，動(dòng)葉輪外側(cè)與泵殼之間的徑向間隙約5毫米，靜葉輪內(nèi)側(cè)與轉(zhuǎn)軸之間的徑向間隙約20毫米。

實(shí)施例2：多級(jí)徑流泵

多級(jí)徑流泵由若干級(jí)徑流泵同軸安裝組成，圖4中所示的多級(jí)徑流泵由5只動(dòng)葉輪1、三只靜輪2和二級(jí)連在一起的動(dòng)密封10組成，中間三只動(dòng)葉輪上設(shè)有均布的連通氣孔6，右側(cè)的二只靜葉輪葉片的傾斜方向相同，抽氣方向自外向內(nèi)構(gòu)成二級(jí)并聯(lián)抽氣葉輪，左側(cè)一只靜葉輪葉片的傾斜方向與右側(cè)二靜葉輪葉片的傾斜方向相反，抽氣方向自內(nèi)向外，與右側(cè)二級(jí)并聯(lián)抽氣葉輪構(gòu)成串聯(lián)抽氣，動(dòng)密封10由二只連在一起的盤形泵靜葉輪10組成，左、右側(cè)盤形泵靜葉輪葉槽的傾斜方向分別與左、右側(cè)徑流泵靜葉輪葉片的傾斜方向相同，該泵的抽氣方向如圖4中虛線所示，葉輪參數(shù)同實(shí)施例1。

實(shí)施例3：復(fù)合分子泵