[其他]用于半導體樹脂封裝的模壓設備無效
| 申請號: | 86104184 | 申請日: | 1986-06-19 |
| 公開(公告)號: | CN86104184A | 公開(公告)日: | 1987-01-07 |
| 發明(設計)人: | 高浜久延 | 申請(專利權)人: | 株式會社東芝 |
| 主分類號: | H01L23/02 | 分類號: | H01L23/02;H01L21/56 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 王以平 |
| 地址: | 日本神奈*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 半導體 樹脂 封裝 模壓 設備 | ||
1、一種半導體樹脂封裝模壓設備,它包括:
一對相隔一預定距離的支座;
一個位于支座間的滑動臺。
運動裝置,它用于使滑動臺在支座間來回移動,以便滑動臺作靠近或離開支座的運動;
一個第一壓模部件,它安裝在一個支座上,且具第一壓模面;以及
一個第二壓模部件,它安裝在滑動臺上且具有第二壓模面,所述第一和第二壓模面各自具有用于當兩個壓模面合在一起時,確定待樹脂封裝的型腔的凹槽部分;
其特征在于;
多個在第二壓模部件中形成的且與型腔相連接的給料腔;
多個分別安置在給料腔中的活塞,以及
壓力裝置;它用于同時使活塞朝第二壓模面運動,當把樹脂放置于給料腔內的活塞之上并且第一與第二壓模面接合以后,可將樹脂壓入型腔之中。
2、根據權利要求1的模壓設備,其特征在于它還包括安插在第一和第二壓模部件內的第一和第二起模頂桿組,以便可作靠近或離開支座的運動,而且還包括分別安裝在第一和第二起模頂桿組上的第一和第二起模板,這樣,采用第一和第二起模板分別朝第一和第二壓模面運動的方法,將樹脂固化制得的模壓件從凹進部分中移去。
3、根據要求2的模壓設備,其特征在于:所述壓力裝置包括多個安裝在所述滑動臺上的液缸,而每個液缸具有一個活桿連桿,所述壓力裝置還包括多個其一頭各自安裝在活塞上活塞連桿,通過這些活塞連桿,活塞朝第二壓模面運動。
4、根據權利要求3的模壓設備,其特征在于所述壓力裝置包括與液缸的活桿連桿和活塞連桿連接在一起的壓力平衡裝置,該裝置用于均勻地將活桿連桿壓出的力傳送到活塞連桿上。
5、根據權利要求4的模壓設備,其特征在于還包括一個穿入所述滑動臺且安裝在另外支座上的起模頂桿,該起模頂桿用來抵觸第二起模板,以在運動裝置使滑動臺運動時,滑動臺在一定方向上運動,使得第一和第二壓模面相互分離開,使第二組起模頂桿頂出模壓件。
6、根據權利要求1的模壓設備,其特征在于所述的運動裝置包括一個安裝在另外支座上的傳動液缸,該傳動液缸穿過支座的一個孔且其末端安裝在滑動臺上。
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