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[其他]測試微區腐蝕電位電流密度分布的掃描裝置無效

專利信息
申請號: 86103043 申請日: 1986-04-28
公開(公告)號: CN86103043A 公開(公告)日: 1986-11-12
發明(設計)人: 田昭武;林昌健;卓向東 申請(專利權)人: 廈門大學
主分類號: G01N27/26 分類號: G01N27/26;G01R19/08
代理公司: 廈門大學專利事務所 代理人: 馬應森
地址: 福建省廈門*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 測試 腐蝕 電位 電流密度 分布 掃描 裝置
【權利要求書】:

1、測試微區腐蝕電位電流密度分布的掃描裝置,它由微參比電極、樣品架、電機、連接裝置、底板、立柱和控制驅動電路等部分組成,本發明的特征是:微參比電極(1)的微玻璃毛細管(2)的尖端外徑小于10微米,內阻小于500KΩ,樣品架(19)固定在X軸滑塊(12)上,通過X軸絲桿(13)與X軸步進電機(17)連接,X軸滑塊位于X軸滑軌(11)上,可自由運動,微參比電極與固定在Y軸滑塊(24)上的電極上下讀數微調器(25)連接,Y軸滑塊卡入橫梁(21)上的滑條(23),并與Y軸絲桿(27)和Y軸步進電機(29)連接,自動掃描過程由微計算機中的CPU通過可編程并行I/O接口PPI(33)控制,PPI輸出控制信號控制CTC(34)向X軸步進電機和Y軸步進電機提供脈沖信號的分配和環形分配器(36)的工作方式。

2、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:測量電流密度分布需兩根微參比電極固定在一起,并同時掃描,其中一根的微玻璃毛細管(10)呈彎曲,兩根微玻璃毛細管的尖端位于垂直于樣品表面的同一直線上,兩尖端的距離一般為300~600微米,最好約為400微米。

3、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:X軸滑軌(11)固定在底板(31)上,X軸步進電機(17)通過軸承(14)和聯軸部件(15)與X軸絲桿(13)連接,與X軸絲桿相連的X軸滑塊(12)在X軸滑軌上可來回平動。

4、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:樣品架(19)和電解池(20)連接,最好通過細螺紋連接,電解池可以沿垂直軸轉動,樣品架和電解池一般可用耐酸、耐腐蝕材料做成,通常用有機玻璃。

5、根據權利要求1和3所述的掃描裝置,其特征是:X軸絲桿最好利用螺旋測微器改裝而成。

6、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:橫梁(21)固定在立柱(22)上,橫梁上裝有滑條(23),在Y軸滑塊(24)上固定有微電極上下讀數微調器(25),Y軸絲桿(27)通過Y軸絲桿螺母(28)與Y軸步進電機(29)相連,讀數微調器可用千分表改裝而成。

7、根據權利要求1、3和6所述的掃描裝置,其特征是:X軸絲桿與Y軸絲桿互相垂直。

8、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:微參比電極離被測樣品的距離小于50微米,最好約為10微米。

9、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:PPI的狀態信息輸入端口由外設的位置調節鍵的狀態提供,一般可設四個位置調節鍵。

10、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:PPI的一輸出端口輸出控制信號,控制CTC(34)的一個通道形成定時脈沖,作為驅動步進電機的脈沖源,CTC的其余通道工作在計數狀態。

11、根據權利要求1所述的掃描裝置,其特征是:PPI的另一端口輸出控制信號,和CTC輸出的脈沖信號通過步進電機環形分配器(36)控制X軸和Y軸步進電機按程序給定的參數運轉,CTC輸出的定時脈沖可經脈沖展寬電路展寬,展寬電路可由二極管、電容和與非門組成。

12、根據權利要求1、9、10和11所述的掃描裝置,其特征是:微計算機的CPU可用Z-80,PPI可用Intel8255,CTC可用Z-80CTC,步進電機分配器可用CH250。

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