[其他]在無機非導體表面產生金屬結構物的方法

無效

• 申請號: 86102468
• 申請日: 1986-04-16
• 公開（公告）號: CN86102468A
• 公開（公告）日: 1986-10-15
• 發明（設計）人: 哈拉德·蘇爾;厄恩斯特·費尤爾;查斯蒂安·奧爾
• 申請（專利權）人: 舍林股份公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/18;H05K3/06
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 陸麗英

1、在無機非導體表面產生金屬結構物的方法其特征在于：

所需結構物在表面上形成是借助于掩模、漆層或其它的覆蓋材料；

如此處理過的物體在光輻射區內受到含鹵活性氣體的作用；

在反應結束后，除掉覆蓋材料；

物體用眾所周知的物理方法進行金屬化；

在金屬化之后，為了產生所需的結構物，將此物體放入水中，或絡合物、酸、堿的水溶液中，或溶解合成的金屬鹵化物的物質中。

2、根據權利要求1提到的方法，其特征在于將三氯化硼、四氯化硅、三氟化硼或四氯化碳當作含鹵氣體使用。

3、根據權利要求1提到的方法，其特征在于使物體金屬化處理是用蒸發鍍、陰極濺鍍或等離子金屬噴鍍的方法。

4、根據權利要求1至3提到的方法，其特征在于通過在電鍍金屬用的化學（自動催化的）電鍍槽中的處理，使金屬結構物強化。

5、根據權利要求1和4提到的方法，其特征在于在物理的金屬化處理后，通過在電鍍金屬用的化學電鍍槽中浸泡，就直接形成結構物。