[實用新型]一種區熔單晶倒運降溫裝置有效
| 申請號: | 202320784273.4 | 申請日: | 2023-04-11 |
| 公開(公告)號: | CN219295478U | 公開(公告)日: | 2023-07-04 |
| 發明(設計)人: | 王春元;孫皓;孫健;譚永麟;孫晨光;王彥君 | 申請(專利權)人: | 天津中環領先材料技術有限公司;中環領先半導體材料有限公司 |
| 主分類號: | B62B3/04 | 分類號: | B62B3/04;C30B33/00;B62B3/10;B62B5/00 |
| 代理公司: | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 欒志超 |
| 地址: | 300384 天津市濱海*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 區熔單晶 倒運 降溫 裝置 | ||
本實用新型提供一種區熔單晶倒運降溫裝置,包括支撐框架、降溫裝置和移動裝置,所述支撐框架用于放置區熔單晶,所述降溫裝置設置在所述支撐框架未放置所述區熔單晶的一側,用于對所述區熔單晶降溫,所述移動裝置設置在所述支撐框架上,用于移動所述區熔單晶。本實用新型的有益效果是避免了區熔單晶生產過程中的多次搬運,同時實現了搬運和降溫的功能,結構簡單占地面積小,操作便捷,提高了生產效率,降低了生產成本,有效保證了區熔單晶在運輸過程中的安全性,減少了安全隱患。
技術領域
本實用新型屬于區熔爐拉制單晶技術領域,尤其是涉及一種區熔單晶倒運降溫裝置。
背景技術
在區熔單晶生產過程中,需將溫度230℃左右的區熔單晶由取晶車從區熔爐豎直取出后,由2個人用隔熱手套慢慢將單晶放倒至地面的單晶地拍上,然后將與單晶尺寸匹配的風冷降溫車推至熱單晶上方,對單晶進行降溫,再將降溫后的區熔單晶搬運至轉運車,送至下一工序。
現有技術中存在的問題:
1.采用平放的方式放置單晶占地面積較大;
2.現有的工作方式需要單晶地拍和風冷降溫車兩種工裝,且需要對單晶進行多次搬運,區熔單晶的重量較重,最重可達100kg,操作步驟繁瑣;
3.操作人員在搬運過程中易被燙傷或劃傷,存在安全隱患;
4.在搬運過程中,易對單晶造成損壞。
實用新型內容
為解決上述技術問題,本實用新型提供一種區熔單晶倒運降溫裝置,有效的解決了區熔單晶生產過程中需要多次搬運,步驟繁瑣,易對單晶造成損壞,存在安全隱患的問題,克服了現有技術的不足。。
本實用新型采用的技術方案是:一種區熔單晶倒運降溫裝置,包括:
支撐框架,用于放置區熔單晶;
降溫裝置,設置在所述支撐框架未放置所述區熔單晶的一側,用于對所述區熔單晶降溫;
移動裝置,設置在所述支撐框架上,用于移動所述區熔單晶。
進一步,所述支撐框架包括框架本體和斜撐架體,所述框架本體一側設有所述區熔單晶,另外一側設有所述降溫裝置,所述框架本體設有所述降溫裝置的一側設有斜撐架體,所述框架本體可豎直放置或者傾斜放置,所述框架本體和斜撐架體靠近地面的一側設有移動裝置。
進一步,所述框架本體上設有所述區熔單晶的一側設有多個夾持裝置,所述夾持裝置沿所述框架本體的長度均勻設置。
進一步,所述夾持裝置包括固定底座和活動卡扣,所述固定底座設置在所述框架本體設有所述區熔單晶的一側,所述活動卡扣與所述固定底座活動連接。
進一步,所述固定底座和活動卡扣靠近所述區熔單晶的一側設有金屬隔離層。
進一步,所述框架本體上沿長度方向設有多個定位孔,所述固定底座與所述定位孔可拆卸式連接。
進一步,所述框架本體靠近地面的一端設有防扎墊塊,所述防扎墊塊遠離地面的一側設有防扎孔,用于放置所述區熔單晶的頭部。
進一步,所述移動裝置包括滾輪和萬向輪,所述滾輪設置在所述框架本體上,所述萬向輪設置在所述斜撐架體上。
進一步,所述支撐框架上設有扶手,用于推動所述區熔單晶移動。
進一步,所述降溫裝置為橫流風機,所述橫流風機的風口朝向所述區熔單晶
本實用新型具有的優點和積極效果是:由于采用上述技術方案,避免了區熔單晶生產過程中的多次搬運,同時實現了搬運和降溫的功能,結構簡單占地面積小,操作便捷,提高了生產效率,降低了生產成本,有效保證了區熔單晶在運輸過程中的安全性,減少了安全隱患。
附圖說明
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