[實用新型]一種區熔單晶倒運降溫裝置有效
| 申請號： | 202320784273.4 | 申請日： | 2023-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN219295478U | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發明（設計）人： | 王春元;孫皓;孫健;譚永麟;孫晨光;王彥君 | 申請（專利權）人： | 天津中環領先材料技術有限公司;中環領先半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B62B3/04 | 分類號： | B62B3/04;C30B33/00;B62B3/10;B62B5/00 |
| 代理公司： | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 欒志超 |
| 地址： | 300384 天津市濱海*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 區熔單晶 倒運 降溫 裝置 | ||
1.一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于，包括：
支撐框架，用于放置區熔單晶；
降溫裝置，設置在所述支撐框架未放置所述區熔單晶的一側，用于對所述區熔單晶降溫；
移動裝置，設置在所述支撐框架上，用于移動所述區熔單晶。
2.根據權利要求1所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述支撐框架包括框架本體和斜撐架體，所述框架本體一側設有所述區熔單晶，另外一側設有所述降溫裝置，所述框架本體設有所述降溫裝置的一側設有斜撐架體，所述框架本體可豎直放置或者傾斜放置，所述框架本體和斜撐架體靠近地面的一側設有移動裝置。
3.根據權利要求2所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述框架本體上設有所述區熔單晶的一側設有多個夾持裝置，所述夾持裝置沿所述框架本體的長度均勻設置。
4.根據權利要求3所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述夾持裝置包括固定底座和活動卡扣，所述固定底座設置在所述框架本體設有所述區熔單晶的一側，所述活動卡扣與所述固定底座活動連接。
5.根據權利要求4所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述固定底座和活動卡扣靠近所述區熔單晶的一側設有金屬隔離層。
6.根據權利要求4或5所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述框架本體上沿長度方向設有多個定位孔，所述固定底座與所述定位孔可拆卸式連接。
7.根據權利要求2-5任一所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述框架本體靠近地面的一端設有防扎墊塊，所述防扎墊塊遠離地面的一側設有防扎孔，用于放置所述區熔單晶的頭部。
8.根據權利要求2-5任一所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述移動裝置包括滾輪和萬向輪，所述滾輪設置在所述框架本體上，所述萬向輪設置在所述斜撐架體上。
9.根據權利要求1-5任一所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述支撐框架上設有扶手，用于推動所述區熔單晶移動。
10.根據權利要求1-5任一所述的一種區熔單晶倒運降溫裝置，其特征在于：所述降溫裝置為橫流風機，所述橫流風機的風口朝向所述區熔單晶。
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