[實用新型]一種硅晶片平洗裝置

有效

• 申請號: 202320713315.5
• 申請日: 2023-04-04
• 公開（公告）號: CN219435827U
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 梁鶴鏹
• 申請（專利權）人: 山西東明光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 鄧駿杰

1.一種硅晶片平洗裝置，包括用于帶動晶片均勻前后移動的移送裝置(1)，所述移送裝置(1)底部設置有用于盛放晶片與帶動其上下移動的升降裝置(2)，其特征在于：還包括用于提高清洗液溫度與帶動液體振動的水浴裝置(3)，所述水浴裝置(3)頂部設置有用于清洗晶片與清除殘留清洗液的振動裝置(4)；

所述水浴裝置(3)包括儲水箱(301)，所述儲水箱(301)底部安裝有加熱管(302)，所述儲水箱(301)頂部對稱固定設置有兩個導軌(303)，所述儲水箱(301)前面轉動設置有凸輪(304)，所述凸輪(304)上面安裝有第二電機(305)；

所述振動裝置(4)包括清洗箱(401)，所述清洗箱(401)頂部前后對稱設置有兩個儲液槽(402)，所述清洗箱(401)后面對稱固定設置有兩個彈簧(403)。

2.根據權利要求1所述的一種硅晶片平洗裝置，其特征在于：所述移送裝置(1)包括支架(101)，所述支架(101)底部轉動設置有絲杠(102)，所述絲杠(102)上方設置有光杠(103)，所述絲杠(102)前端安裝有第一電機(104)。

3.根據權利要求1所述的一種硅晶片平洗裝置，其特征在于：所述升降裝置(2)包括移動塊(201)，所述移動塊(201)底部安裝有電動推桿(202)，所述電動推桿(202)輸出端設置有掛鉤(203)，所述掛鉤(203)底部設置有盛放架(204)。

4.根據權利要求2所述的一種硅晶片平洗裝置，其特征在于：所述支架(101)采用Q235鋼材料，所述絲杠(102)與所述支架(101)軸承連接。

5.根據權利要求1所述的一種硅晶片平洗裝置，其特征在于：所述導軌(303)截面為圓形，所述清洗箱(401)與所述導軌(303)滑動連接。

6.根據權利要求1所述的一種硅晶片平洗裝置，其特征在于：所述彈簧(403)與所述儲水箱(301)螺栓連接。