[實用新型]承載裝置及晶圓檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320675420.4
• 申請日: 2023-03-30
• 公開（公告）號: CN219575605U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳思鄉(xiāng);雷傳;吳燦;杜振東;孟恒
• 申請（專利權(quán)）人: 長川科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 上海港慧專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31402
• 代理人: 楊鍇

1.一種承載裝置，其特征在于，包括：

底座；

載片臺，安裝于所述底座，所述載片臺具有用于承載晶圓的承載面，且所述承載面開設(shè)有多個沿軸向貫穿所述載片臺的避位孔，所述承載裝置能夠在所述承載面上形成正壓或負壓；及

頂升機構(gòu)，包括驅(qū)動組件及分別穿設(shè)于多個所述避位孔內(nèi)的頂桿，所述驅(qū)動組件與多個所述頂桿傳動連接，并能夠驅(qū)動多個所述頂桿沿所述避位孔升降，以使多個所述頂桿伸出于所述承載面或回縮至所述承載面的下方；

其中，多個所述頂桿的頂端共同限定一平行于所述承載面的支撐平面，且所述頂桿的頂端能夠形成負壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述載片臺與所述底座之間圍設(shè)成容置空間，所述驅(qū)動組件設(shè)置于所述容置空間內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述承載面上開設(shè)有吸附槽，所述吸附槽的底部開設(shè)有氣孔，所述載片臺的內(nèi)部形成有與所述氣孔連通的氣道，所述氣道能夠連通負壓氣源或正壓氣源。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述吸附槽包括多個同心設(shè)置的環(huán)形槽，且每個所述環(huán)形槽的底部均開設(shè)有所述氣孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的承載裝置，其特征在于，所述氣道設(shè)置有多個，且多個所述氣道分別與多個不同半徑范圍內(nèi)的所述環(huán)形槽內(nèi)的所述氣孔連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，每個所述頂桿的中部形成有延伸至頂端的通道，且每個所述頂桿的頂端設(shè)置有與所述通道連通的吸盤，所述通道能夠連通負壓氣源。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括：

動力件；

驅(qū)動塊，設(shè)置于所述動力件的驅(qū)動端，所述動力件能夠驅(qū)動所述驅(qū)動塊沿所述載片臺的徑向移動；

升降盤，沿所述頂桿的延伸方向可滑動地安裝于所述底座，多個所述頂桿安裝于所述升降盤；

傳動件，固定于所述升降盤并與所述驅(qū)動塊配合，以在所述動力件的驅(qū)動下帶動所述升降盤沿所述頂桿的延伸方向滑動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的承載裝置，其特征在于，所述驅(qū)動塊表面開設(shè)有凸輪槽，所述傳動件包括可滑動地設(shè)置于所述凸輪槽內(nèi)的隨動器。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的承載裝置，其特征在于，所述升降盤通過多個導(dǎo)向組件可滑動地安裝于所述底座，每個所述導(dǎo)向組件包括導(dǎo)桿、導(dǎo)向套及預(yù)緊件，所述導(dǎo)桿固定于所述底座并沿所述頂桿的延伸方向延伸，所述導(dǎo)向套固定于所述升降盤并可滑動地套設(shè)于所述導(dǎo)桿，所述預(yù)緊件安裝于所述導(dǎo)桿并為所述升降盤提供向下的預(yù)緊力。

10.一種晶圓檢測設(shè)備，其特征在于，包括供氣系統(tǒng)及如上述權(quán)利要求1至9任一項所述的承載裝置，所述供氣系統(tǒng)能夠向所述承載裝置提供負壓氣源或正壓氣源，以在所述承載面形成負壓或正壓。