[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320504225.5
• 申請(qǐng)日: 2023-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN219560610U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 武云博;李燕;史舸;胡曉亮;徐華俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麥斯克電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B1/04
• 分類號(hào): B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 深圳經(jīng)緯創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44875
• 代理人: 李想

1.一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，包括四個(gè)支柱(1)，位于兩側(cè)的兩個(gè)所述支柱(1)上端均固定連接有驅(qū)動(dòng)架(2)，兩個(gè)所述驅(qū)動(dòng)架(2)相對(duì)一側(cè)外壁上分別固定開設(shè)有驅(qū)動(dòng)槽(3)和限位槽(4)，所述驅(qū)動(dòng)槽(3)前后內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)桿(5)，所述限位槽(4)前后內(nèi)壁之間固定連接有限位桿(6)，所述驅(qū)動(dòng)桿(5)外壁上螺紋套接有驅(qū)動(dòng)滑塊(7)，所述限位桿(6)外壁上滑動(dòng)套接有限位滑塊(8)，所述驅(qū)動(dòng)滑塊(7)和限位滑塊(8)上端固定連接有清潔機(jī)構(gòu)(10)，所述清潔機(jī)構(gòu)(10)下端面固定連接有多個(gè)噴頭(11)，所述驅(qū)動(dòng)滑塊(7)和限位滑塊(8)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有清潔桿(12)，所述清潔桿(12)外壁上固定連接有多個(gè)毛刷(13)；

四個(gè)所述支柱(1)之間固定連接有加固臺(tái)(14)，所述加固臺(tái)(14)上端中部固定連接有液壓缸(15)，所述加固臺(tái)(14)上端靠近四角處均固定連接有伸縮桿(16)，所述液壓缸(15)和伸縮桿(16)上端固定連接有加工臺(tái)(26)，所述加固臺(tái)(14)下端固定開設(shè)有調(diào)節(jié)滑槽(17)，所述調(diào)節(jié)滑槽(17)兩側(cè)內(nèi)壁之間靠近前后端處分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有調(diào)節(jié)絲桿(18)和固定連接有滑桿(19)，所述調(diào)節(jié)絲桿(18)和滑桿(19)兩側(cè)外壁上均套設(shè)有調(diào)節(jié)滑塊(21)，四個(gè)所述調(diào)節(jié)滑塊(21)外壁上均鉸接有連接桿(25)，所述加固臺(tái)(14)下端面靠近四角處均固定連接有伸縮腿(23)，四個(gè)所述伸縮腿(23)下端均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有滑輪(24)，四個(gè)所述連接桿(25)下端分別鉸接在四個(gè)伸縮腿(23)輸出端上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，多個(gè)所述噴頭(11)均勻分布設(shè)置在清潔機(jī)構(gòu)(10)下端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)滑塊(7)內(nèi)固定設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)輸出端與清潔桿(12)一端固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)絲桿(18)采用雙螺紋絲桿制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，位于同側(cè)的兩個(gè)所述調(diào)節(jié)滑塊(21)之間固定連接有連接柄(22)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)滑槽(17)中部固定設(shè)置有分隔板(20)，所述調(diào)節(jié)絲桿(18)和滑桿(19)均貫穿分隔板(20)設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大理石平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)架(2)前端固定設(shè)置有伺服電機(jī)(27)，所述伺服電機(jī)(27)輸出端貫穿驅(qū)動(dòng)架(2)板身并與驅(qū)動(dòng)桿(5)前端固定連接，所述加固臺(tái)(14)內(nèi)固定設(shè)置有升降電機(jī)(28)，所述升降電機(jī)(28)輸出端與調(diào)節(jié)絲桿(18)一端固定連接。