[實用新型]一種用于半導體生產的大理石平臺

有效

• 申請號: 202320504225.5
• 申請日: 2023-03-16
• 公開（公告）號: CN219560610U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 武云博;李燕;史舸;胡曉亮;徐華俊
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料股份有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 深圳經緯創新知識產權代理有限公司 44875
• 代理人: 李想

本實用新型公開了一種用于半導體生產的大理石平臺，屬于大理石平臺技術領域，包括：四個支柱，位于兩側的兩個所述支柱上端均固定連接有驅動架，兩個所述驅動架相對一側外壁上分別固定開設有驅動槽和限位槽，所述驅動槽前后內壁之間轉動連接有驅動桿，所述限位槽前后內壁之間固定連接有限位桿，所述驅動桿外壁上螺紋套接有驅動滑塊，所述限位桿外壁上滑動套接有限位滑塊，所述驅動滑塊和限位滑塊上端固定連接有清潔機構，所述清潔機構下端面固定連接有多個噴頭，所述驅動滑塊和限位滑塊之間轉動連接有清潔桿。由此，該大理石平臺能夠自動清理臺面，并且具備移動機構，方便搬運，具有實用性。

技術領域

本實用新型涉及一種大理石平臺，特別是涉及一種用于半導體生產的大理石平臺，屬于大理石平臺技術領域。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，為保護其性能通常采用大理石面作為操作平臺，大理石平臺取材于地下優質的巖石層，經過億萬年自然時效，形態極為穩定,不用擔心因常規的溫差而發生變形。經嚴格物理試驗和選擇的花崗石料,結晶細密,質地堅硬，極耐磨損、耐酸、耐堿，有很高的耐腐蝕性，永遠不會生銹。由于大理石系非金屬材料，絕無磁性反應，亦無塑性變形。其硬度比鑄鐵高2－3倍，因此精度保持性好，優于優質鑄鐵和鋼材制作的精密測量基準零件，可以獲得高而穩定的精度。

當前半導體生產時需要用到大理石平臺，目前的大理石平臺一般在使用完畢后需要人為進行臺面清潔不夠方便，且平臺較重，移動時較為麻煩，基于此，我們提出一種用于半導體生產的大理石平臺進行改進。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于半導體生產的大理石平臺，該大理石平臺能夠自動清理臺面，并且具備移動機構，方便搬運，解決了現有技術中大理石平臺使用后的臺面需要人為清潔和搬運麻煩等耗時耗力的問題。

為解決上述問題，提供以下技術方案：

設計一種用于半導體生產的大理石平臺，包括四個支柱，位于兩側的兩個所述支柱上端均固定連接有驅動架，兩個所述驅動架相對一側外壁上分別固定開設有驅動槽和限位槽，所述驅動槽前后內壁之間轉動連接有驅動桿，所述限位槽前后內壁之間固定連接有限位桿，所述驅動桿外壁上螺紋套接有驅動滑塊，所述限位桿外壁上滑動套接有限位滑塊，所述驅動滑塊和限位滑塊上端固定連接有清潔機構，所述清潔機構下端面固定連接有多個噴頭，所述驅動滑塊和限位滑塊之間轉動連接有清潔桿，所述清潔桿外壁上固定連接有多個毛刷；

四個所述支柱之間固定連接有加固臺，所述加固臺上端中部固定連接有液壓缸，所述加固臺上端靠近四角處均固定連接有伸縮桿，所述液壓缸和伸縮桿上端固定連接有加工臺，所述加固臺下端固定開設有調節滑槽，所述調節滑槽兩側內壁之間靠近前后端處分別轉動連接有調節絲桿和固定連接有滑桿，所述調節絲桿和滑桿兩側外壁上均套設有調節滑塊，四個所述調節滑塊外壁上均鉸接有連接桿，所述加固臺下端面靠近四角處均固定連接有伸縮腿，四個所述伸縮腿下端均轉動安裝有滑輪，四個所述連接桿下端分別鉸接在四個伸縮腿輸出端上。

進一步的，多個所述噴頭均勻分布設置在清潔機構下端。

進一步的，所述驅動滑塊內固定設置有驅動機構，所述驅動機構輸出端與清潔桿一端固定連接。

進一步的，所述調節絲桿采用雙螺紋絲桿制成。

進一步的，位于同側的兩個所述調節滑塊之間固定連接有連接柄。

進一步的，所述調節滑槽中部固定設置有分隔板，所述調節絲桿和滑桿均貫穿分隔板設置。

進一步的，所述驅動架前端固定設置有伺服電機，所述伺服電機輸出端貫穿驅動架板身并與驅動桿前端固定連接，所述加固臺內固定設置有升降電機，所述升降電機輸出端與調節絲桿一端固定連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：該裝置通過設置噴頭噴灑清洗液，配合清潔桿帶動毛刷清潔加工臺面，能夠實現對大理石臺面的自動化清潔，方便省事；