[實用新型]碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320458534.3
• 申請日: 2023-03-10
• 公開（公告）號: CN219562683U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林義復(fù);林育儀;張煒國
• 申請（專利權(quán)）人: 通威微電子有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 劉鋒

本實用新型的實施例提供了一種碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)，涉及碳化硅拋光技術(shù)領(lǐng)域，該碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)，包括一次拋光液桶、多個二次拋光液桶和多個拋光機，在實際拋光時，首先向一次拋光液桶中注入適用于拋光的一次拋光液，通過第一輸送管向頭部的拋光機提供一次拋光液，該拋光機利用一次拋光液完成拋光作業(yè)，所產(chǎn)生的二次拋光液通過回收管進入二次拋光液桶，再通過第二輸送管流向下一個拋光機，該拋光機利用二次拋光液完成拋光作業(yè)，以此類推，循環(huán)多次利用。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型提供的碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)對拋光液的回收利用，降低制造成本和廢液排放。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及碳化硅拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前碳化硅以及藍寶石等在切磨拋工藝通常需要拋光，拋光液在拋光工藝在扮演著相當重要的角色，主要影響著晶片的質(zhì)量與生產(chǎn)效率。目前拋光液均是采用一次性排放，對于連續(xù)生產(chǎn)時拋光液的用量需求十分巨大，拋光液單價高昂且廢液均含有高錳酸鉀，廢液后續(xù)處理需要大量的資源與成本，成本高昂，且對環(huán)境造成較大負擔(dān)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的包括，例如，提供了一種碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)，其能夠?qū)崿F(xiàn)對拋光液的回收利用，降低制造成本和廢液排放。

本實用新型的實施例可以這樣實現(xiàn)：

第一方面，本實用新型提供一種碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)，包括一次拋光液桶、多個二次拋光液桶和多個拋光機，多個所述拋光機沿拋光液流動方向依次設(shè)置，所述一次拋光液桶設(shè)置有第一輸送管，所述第一輸送管連接至位于頭部的所述拋光機，用于向位于頭部的所述拋光機供給一次拋光液，相鄰的所述拋光機之間設(shè)置有所述二次拋光液桶，每個所述二次拋光液桶設(shè)置有回收管和第二輸送管，所述回收管與上游的所述拋光機連接，用于回收上游的所述拋光機流出的二次拋光液，所述第二輸送管與下游的所述拋光機連接，用于向下游的所述拋光機供給二次拋光液，且位于尾部的所述拋光機設(shè)置有排液管，所述排液管用于將產(chǎn)生的廢液排出。

在可選的實施方式中，所述一次拋光液桶內(nèi)設(shè)置有第一攪拌裝置，所述第一攪拌裝置用于攪拌位于所述一次拋光液桶內(nèi)的所述一次拋光液；每個所述二次拋光液桶內(nèi)設(shè)置有第二攪拌裝置，所述第二攪拌裝置用于攪拌位于所述二次拋光液桶內(nèi)的所述二次拋光液。

在可選的實施方式中，所述一次拋光液桶內(nèi)還設(shè)置有第一檢測器，用于檢測所述一次拋光液桶內(nèi)所述一次拋光液的均勻度，所述第一檢測器與所述第一攪拌裝置電連接，所述第一攪拌裝置還用于依據(jù)所述一次拋光液的均勻度調(diào)整攪拌速率；

每個所述二次拋光液桶內(nèi)還設(shè)置有第二檢測器，用于檢測所述二次拋光液桶內(nèi)所述二次拋光液的均勻度，所述第二檢測器與所述第二攪拌裝置電連接，所述第二攪拌裝置還用于依據(jù)所述二次拋光液的均勻度調(diào)整攪拌速率。

在可選的實施方式中，所述碳化硅拋光液重復(fù)回收系統(tǒng)還包括恒溫控制裝置，所述恒溫控制裝置包括供給箱、第一換熱管和多個第二換熱管，所述供給箱同時與所述第一換熱管和多個所述第二換熱管連接，用于向所述第一換熱管和所述第二換熱管供給和回收恒溫循環(huán)液，所述第一換熱管圍設(shè)在所述一次拋光液桶的外壁上，多個所述第二換熱管對應(yīng)圍設(shè)在多個所述二次拋光液桶的外壁上。

在可選的實施方式中，每個所述二次拋光液桶內(nèi)還設(shè)置有pH測量計和pH調(diào)節(jié)裝置，所述pH測量計與所述pH調(diào)節(jié)裝置電連接，所述pH測量計用于檢測所述二次拋光液桶的pH值，所述pH調(diào)節(jié)裝置用于依據(jù)所述二次拋光液桶的pH值向所述二次拋光液桶加入pH添加劑。

在可選的實施方式中，所述第一輸送管上設(shè)置有第一流量計和第一壓力泵，所述第一流量計和所述第一壓力泵電連接，所述第一流量計用于檢測所述第一輸送管內(nèi)所述一次拋光液的流量，所述第一壓力泵用于調(diào)整所述第一輸送管的流量；