[實用新型]碳化硅拋光液重復回收系統

有效

• 申請號: 202320458534.3
• 申請日: 2023-03-10
• 公開（公告）號: CN219562683U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 林義復;林育儀;張煒國
• 申請（專利權）人: 通威微電子有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 劉鋒

1.一種碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，包括一次拋光液桶(110)、多個二次拋光液桶(120)和多個拋光機(130)，多個所述拋光機(130)沿首尾方向依次設置，所述一次拋光液桶(110)設置有第一輸送管(111)，所述第一輸送管(111)連接至位于頭部的所述拋光機(130)，用于向位于頭部的所述拋光機(130)供給一次拋光液，相鄰的所述拋光機(130)之間設置有所述二次拋光液桶(120)，每個所述二次拋光液桶(120)設置有回收管(123)和第二輸送管(121)，所述回收管(123)與上游的所述拋光機(130)連接，用于回收上游的所述拋光機(130)流出的二次拋光液，所述第二輸送管(121)與下游的所述拋光機(130)連接，用于向下游的所述拋光機(130)供給二次拋光液，且位于尾部的所述拋光機(130)設置有排液管，所述排液管用于將產生的廢液排出。

2.根據權利要求1所述的碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，所述一次拋光液桶(110)內設置有第一攪拌裝置(113)，所述第一攪拌裝置(113)用于攪拌位于所述一次拋光液桶(110)內的所述一次拋光液；每個所述二次拋光液桶(120)內設置有第二攪拌裝置(125)，所述第二攪拌裝置(125)用于攪拌位于所述二次拋光液桶(120)內的所述二次拋光液。

3.根據權利要求2所述的碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，所述一次拋光液桶(110)內還設置有第一檢測器(115)，用于檢測所述一次拋光液桶(110)內所述一次拋光液的均勻度，所述第一檢測器(115)與所述第一攪拌裝置(113)電連接，所述第一攪拌裝置(113)還用于依據所述一次拋光液的均勻度調整攪拌速率；

每個所述二次拋光液桶(120)內還設置有第二檢測器，用于檢測所述二次拋光液桶(120)內所述二次拋光液的均勻度，所述第二檢測器與所述第二攪拌裝置(125)電連接，所述第二攪拌裝置(125)還用于依據所述二次拋光液的均勻度調整攪拌速率。

4.根據權利要求2所述的碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，所述碳化硅拋光液重復回收系統還包括恒溫控制裝置(150)，所述恒溫控制裝置(150)包括供給箱(151)、第一換熱管(153)和多個第二換熱管(155)，所述供給箱(151)同時與所述第一換熱管(153)和多個所述第二換熱管(155)連接，用于向所述第一換熱管(153)和所述第二換熱管(155)供給和回收恒溫循環液，所述第一換熱管(153)圍設在所述一次拋光液桶(110)的外壁上，多個所述第二換熱管(155)對應圍設在多個所述二次拋光液桶(120)的外壁上。

5.根據權利要求2所述的碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，每個所述二次拋光液桶(120)內還設置有pH測量計(160)和pH調節裝置(161)，所述pH測量計(160)與所述pH調節裝置(161)電連接，所述pH測量計(160)用于檢測所述二次拋光液桶(120)的pH值，所述pH調節裝置(161)用于依據所述二次拋光液桶(120)的pH值向所述二次拋光液桶(120)加入pH添加劑。

6.根據權利要求2所述的碳化硅拋光液重復回收系統，其特征在于，所述第一輸送管(111)上設置有第一流量計(170)和第一壓力泵(171)，所述第一流量計(170)和所述第一壓力泵(171)電連接，所述第一流量計(170)用于檢測所述第一輸送管(111)內所述一次拋光液的流量，所述第一壓力泵(171)用于調整所述第一輸送管(111)的流量；

所述第二輸送管(121)上設置有第二流量計(180)和第二壓力泵(181)，所述第二流量計(180)和所述第二壓力泵(181)電連接，所述第二流量計(180)用于檢測所述第二輸送管(121)內所述二次拋光液的流量，所述第二壓力泵(181)用于調整所述第二輸送管(121)的流量。