[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320343894.9
• 申請(qǐng)日: 2023-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219513121U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張靖;何飛;何其金
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 揚(yáng)州新瑞光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/223;C30B31/10
• 代理公司: 深圳科灣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44585
• 代理人: 馬垚

本實(shí)用新型公開(kāi)了topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐，擴(kuò)散爐左側(cè)壁通過(guò)轉(zhuǎn)軸安裝設(shè)有爐門(mén)，擴(kuò)散爐內(nèi)設(shè)有隔板，隔板右側(cè)設(shè)有攪動(dòng)機(jī)構(gòu)，擴(kuò)散爐右側(cè)壁貫穿連通設(shè)有第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，抽氣泵進(jìn)氣端連接設(shè)有抽氣管，抽氣管一端位于擴(kuò)散爐內(nèi)部，抽氣泵出氣端連接設(shè)有出氣管，本實(shí)用在攪動(dòng)機(jī)構(gòu)的配合下能夠?qū)怏w進(jìn)行充分混合，然后在抽氣管、抽氣泵和出氣管的配合下能夠?qū)⒒旌蠚怏w抽送到出風(fēng)套管內(nèi)，然后在均風(fēng)板的作用下能夠?qū)⒒旌蠚怏w均勻的擴(kuò)散到擴(kuò)散爐內(nèi)，出風(fēng)口呈圓臺(tái)狀設(shè)置，能夠使得混合氣體排出的時(shí)候更加均勻，從而能夠?qū)U(kuò)散爐內(nèi)的topcon電池片擴(kuò)散均勻，提高擴(kuò)散均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐。

背景技術(shù)

topcon電池片是一種基于選擇性載流子原理的隧穿氧化層鈍化接觸的太陽(yáng)能電池，topcon電池片在生產(chǎn)的時(shí)候需要使用擴(kuò)散爐進(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散工序是整個(gè)topcon電池片制備中的最關(guān)鍵的工序，擴(kuò)散工序生成PN結(jié)，而PN結(jié)的均勻性、可控性一直是太陽(yáng)能電池研究領(lǐng)域的重點(diǎn)，通常使用三氯氧磷作為磷源進(jìn)行氣源攜帶擴(kuò)散，擴(kuò)散爐在對(duì)topcon電池片進(jìn)行擴(kuò)散的時(shí)候，因?yàn)閿U(kuò)散需要氧氣和其他氣體，現(xiàn)有擴(kuò)散爐不方便對(duì)氣體進(jìn)行混合，導(dǎo)致在其進(jìn)行擴(kuò)散時(shí)，擴(kuò)散不夠均勻，擴(kuò)散均勻性較差，因此，需要一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐，所述擴(kuò)散爐底部設(shè)有四組支撐腿，四組支撐腿在所述擴(kuò)散爐底部呈矩形陣列分布，所述擴(kuò)散爐左側(cè)壁通過(guò)轉(zhuǎn)軸安裝設(shè)有爐門(mén)，所述擴(kuò)散爐內(nèi)設(shè)有隔板，所述隔板右側(cè)設(shè)有攪動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述擴(kuò)散爐右側(cè)壁貫穿連通設(shè)有第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，所述隔板左側(cè)設(shè)有出風(fēng)套管，所述出風(fēng)套管底部設(shè)有均風(fēng)板，所述擴(kuò)散爐頂部設(shè)有抽氣泵，所述抽氣泵進(jìn)氣端連接設(shè)有抽氣管，所述抽氣管一端位于擴(kuò)散爐內(nèi)部，所述抽氣泵出氣端連接設(shè)有出氣管，所述出氣管一端與出風(fēng)套管內(nèi)部相連通。

進(jìn)一步的，所述均風(fēng)板頂部均開(kāi)設(shè)有出風(fēng)口，所述出風(fēng)口呈圓臺(tái)狀設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述出風(fēng)套管頂部左右兩側(cè)均設(shè)有連接桿，兩組連接桿一端均與擴(kuò)散爐內(nèi)頂部相連接。

進(jìn)一步的，所述抽氣管一端位于隔板右側(cè)。

進(jìn)一步的，所述攪動(dòng)機(jī)構(gòu)包括隔板右側(cè)設(shè)有的攪動(dòng)桿，所述攪動(dòng)桿一端貫穿擴(kuò)散爐內(nèi)頂部與外部設(shè)有的從動(dòng)齒輪相連接，所述攪動(dòng)桿外壁均勻設(shè)有攪動(dòng)片，所述攪動(dòng)桿頂部設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述擴(kuò)散爐頂部設(shè)有電機(jī)，所述電機(jī)輸出端連接設(shè)有與從動(dòng)齒輪相嚙合的主動(dòng)齒輪。

進(jìn)一步的，所述擴(kuò)散爐頂部開(kāi)設(shè)有通孔，所述攪動(dòng)桿外壁套接安裝設(shè)有軸承，軸承與通孔內(nèi)壁相匹配。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用在攪動(dòng)機(jī)構(gòu)的配合下能夠?qū)怏w進(jìn)行充分混合，然后在抽氣管、抽氣泵和出氣管的配合下能夠?qū)⒒旌蠚怏w抽送到出風(fēng)套管內(nèi)，然后在均風(fēng)板的作用下能夠?qū)⒒旌蠚怏w均勻的擴(kuò)散到擴(kuò)散爐內(nèi)，出風(fēng)口呈圓臺(tái)狀設(shè)置，能夠使得混合氣體排出的時(shí)候更加均勻，從而能夠?qū)U(kuò)散爐內(nèi)的topcon電池片擴(kuò)散均勻，提高擴(kuò)散均勻性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型出風(fēng)套管和均風(fēng)板結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、擴(kuò)散爐；2、第一進(jìn)氣管；3、第二進(jìn)氣管；4、隔板；5、攪動(dòng)機(jī)構(gòu)；50、電機(jī)；51、主動(dòng)齒輪；52、從動(dòng)齒輪；53、攪動(dòng)片；54、攪動(dòng)桿；6、抽氣管；7、抽氣泵；8、出氣管；9、出風(fēng)套管；10、連接桿；11、爐門(mén)；12、均風(fēng)板；13、出風(fēng)口。

具體實(shí)施方式