[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320343894.9
• 申請(qǐng)日: 2023-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219513121U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張靖;何飛;何其金
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州新瑞光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/223;C30B31/10
• 代理公司: 深圳科灣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44585
• 代理人: 馬垚

1.一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐(1)，所述擴(kuò)散爐(1)底部設(shè)有四組支撐腿，四組支撐腿在所述擴(kuò)散爐(1)底部呈矩形陣列分布，所述擴(kuò)散爐(1)左側(cè)壁通過(guò)轉(zhuǎn)軸安裝設(shè)有爐門(11)，其特征在于：所述擴(kuò)散爐(1)內(nèi)設(shè)有隔板(4)，所述隔板(4)右側(cè)設(shè)有攪動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)，所述擴(kuò)散爐(1)右側(cè)壁貫穿連通設(shè)有第一進(jìn)氣管(2)和第二進(jìn)氣管(3)，所述隔板(4)左側(cè)設(shè)有出風(fēng)套管(9)，所述出風(fēng)套管(9)底部設(shè)有均風(fēng)板(12)，所述擴(kuò)散爐(1)頂部設(shè)有抽氣泵(7)，所述抽氣泵(7)進(jìn)氣端連接設(shè)有抽氣管(6)，所述抽氣管(6)一端位于擴(kuò)散爐(1)內(nèi)部，所述抽氣泵(7)出氣端連接設(shè)有出氣管(8)，所述出氣管(8)一端與出風(fēng)套管(9)內(nèi)部相連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，其特征在于：所述均風(fēng)板(12)頂部均開(kāi)設(shè)有出風(fēng)口(13)，所述出風(fēng)口(13)呈圓臺(tái)狀設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，其特征在于：所述出風(fēng)套管(9)頂部左右兩側(cè)均設(shè)有連接桿(10)，兩組連接桿(10)一端均與擴(kuò)散爐(1)內(nèi)頂部相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，其特征在于：所述抽氣管(6)一端位于隔板(4)右側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，其特征在于：所述攪動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)包括隔板(4)右側(cè)設(shè)有的攪動(dòng)桿(54)，所述攪動(dòng)桿(54)一端貫穿擴(kuò)散爐(1)內(nèi)頂部與外部設(shè)有的從動(dòng)齒輪(52)相連接，所述攪動(dòng)桿(54)外壁均勻設(shè)有攪動(dòng)片(53)，所述攪動(dòng)桿(54)頂部設(shè)有從動(dòng)齒輪(52)，所述擴(kuò)散爐(1)頂部設(shè)有電機(jī)(50)，所述電機(jī)(50)輸出端連接設(shè)有與從動(dòng)齒輪(52)相嚙合的主動(dòng)齒輪(51)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種擴(kuò)散均勻的topcon電池片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐，其特征在于：所述擴(kuò)散爐(1)頂部開(kāi)設(shè)有通孔，所述攪動(dòng)桿(54)外壁套接安裝設(shè)有軸承，軸承與通孔內(nèi)壁相匹配。