[實用新型]一種基板磨削組件和基板磨削裝置

有效

• 申請號: 202320337567.2
• 申請日: 2023-02-28
• 公開（公告）號: CN219582397U
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 黃威;趙德文;劉遠航;王江濤;路新春
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/047;B24B41/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基板磨削組件，其特征在于，包括：

支撐體，其上設置有豎向的基體通孔；

旋轉體，其同軸設置于所述基體通孔，旋轉體的下部設置有磨削砂輪；

所述旋轉體包括芯軸、止推座和止推板，所述芯軸間隙設置于所述基體通孔中，所述止推座和止推板分別間隔設置于所述芯軸并位于所述支撐體的下側和上側；所述止推座的上表面與支撐體的下表面形成下部軸向間隙，所述止推板的下表面與支撐體的上表面形成上部軸向間隙；

所述支撐體的內部設置有節流組件，所述節流組件包括一對節流器，所述節流器朝向所述上部軸向間隙和下部軸向間隙設置，其通過孔道與外部氣源連通，以在軸向間隙之間形成穩定的氣流。

2.如權利要求1所述的基板磨削組件，其特征在于，所述節流器包括第一過流件和第二過流件，兩者層疊設置，并且，第二過流件朝向軸向間隙設置；所述第一過流件由一級多孔質材料制成，第二過流件由二級多孔質材料制成，所述一級多孔質材料的孔隙率大于二級多孔質材料的孔隙率。

3.如權利要求1所述的基板磨削組件，其特征在于，所述支撐體配置有橫向孔道，所述橫向孔道的一端與所述節流器連通，其另一端與所述基體通孔連通。

4.如權利要求3所述的基板磨削組件，其特征在于，所述基體通孔的內側壁配置有微槽，所述微槽與所述橫向孔道相連通；氣流經由節流器和橫向孔道傳輸至芯軸與基體通孔之間的徑向間隙。

5.如權利要求4所述的基板磨削組件，其特征在于，所述支撐體還配置有排氣槽，所述排氣槽與所述徑向間隙連通，并且，所述排氣槽位于豎向間隔設置的微槽之間，其內部設置有與外部連通的排氣孔。

6.如權利要求4所述的基板磨削組件，其特征在于，所述微槽的截面形狀為半圓形、三角形和/或矩形。

7.如權利要求1所述的基板磨削組件，其特征在于，所述節流組件的數量為多個，其沿所述支撐體的圓周方向均勻分布。

8.如權利要求2所述的基板磨削組件，其特征在于，所述節流器為雙層圓柱狀結構，其由微米級和/或納米級的多孔質材料制成。

9.如權利要求1所述的基板磨削組件，其特征在于，所述支撐體的內部配置有進氣孔道和分支孔道，氣流通過進氣孔道和分支孔道傳輸至節流器，并經由所述節流器排放至軸向間隙和徑向間隙。

10.一種基板磨削裝置，其特征在于，包括：

磨削工作臺，用于承載預設數量的吸盤，所述吸盤用于裝載待磨削的基板并帶動基板旋轉；

和權利要求1至9任一項所述的基板磨削組件，用于使磨削砂輪抵接于基板以對基板進行磨削處理。