[實用新型]一種新型蝕刻機回流裝置

有效

• 申請號: 202320281004.6
• 申請日: 2023-02-22
• 公開（公告）號: CN219490166U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 林萬禮;鄭嘉振;鄭人方;陳聖為
• 申請（專利權）人: 敬鵬(常熟)電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/46
• 代理公司: 北京優賽深聞知識產權代理有限公司 16040
• 代理人: 李亞軍

本申請提供一種新型蝕刻機回流裝置，涉及蝕刻機技術領域，包括箱體，所述箱體頂部設有抽風機，所述抽風機連接有抽氣管，所述抽氣管延伸至所述箱體內，所述箱體的內壁相對兩側設有一組凹槽，所述凹槽內設有過濾隔離布，所述過濾隔離布的下方設有傳送滾輪模組，所述傳送滾輪模組的上下兩側均勻設置有多個噴霧器，所述傳送滾輪模組的中間沿所述傳送滾輪模組傳輸方向設有貫穿所述箱體的通道，所述傳送滾輪模組的下方設有擋板，本實用新型通過抽風機、抽氣管、擋板、噴霧器、循環組件的相互配合，回收揮發的高濃度鹽酸霧氣，保證蝕刻液中氯離子的濃度，保證蝕刻速率，降低頻繁換液而增加的成本及避免浪費，保證蝕刻速率。

技術領域

本申請涉及蝕刻機技術領域，具體而言，涉及一種新型蝕刻機回流裝置。

背景技術

蝕刻液是通過侵蝕材料的特性來進行雕刻的一種液體，在酸性氯化銅蝕刻液中，溶液中的氯離子濃度與蝕刻速率有著密切的關系，當溶液中的鹽酸濃度升高時，蝕刻時間減少，然而，鹽酸濃度高，易揮發，在液槽內形成霧氣。

高濃度的鹽酸霧氣具有強烈的刺鼻氣味，且具有較高的腐蝕性，常見的蝕刻機設置有抽風排氣裝置進行排風抽氣，防止高濃度的鹽酸霧氣逸散至環境大氣，然而，在抽風排氣時，抽離的大量高濃度鹽酸霧氣，一方面增加廢氣塔處理的負載，另一方面這些高濃度鹽酸霧氣仍具備蝕刻功能，直接抽氣排放再添加新液無疑會增加企業的生產成本及浪費，且將高濃度的鹽酸霧氣抽離過多會降低蝕刻速率，影響生產。

發明內容

本申請實施例的目的在于提供一種新型蝕刻機回流裝置，其能夠解決背景技術提出的技術問題。

本申請實施例提供一種新型蝕刻機回流裝置，包括箱體，所述箱體頂部設有抽風機，所述抽風機連接有抽氣管，所述抽氣管延伸至所述箱體內，所述箱體的內壁相對兩側設有一組凹槽，所述凹槽內設有過濾隔離布，所述過濾隔離布的下方設有傳送滾輪模組，所述傳送滾輪模組的上下兩側均勻設置有多個噴霧器，所述傳送滾輪模組的中間沿所述傳送滾輪模組傳輸方向設有貫穿所述箱體的通道，所述傳送滾輪模組的下方設有擋板，所述擋板與所述箱體的底部形成容納腔，所述箱體的一側設有將噴霧器噴出的蝕刻液輸送回所述容納腔的循環組件。

進一步的，所述過濾隔離布的上部設置有冷凝盤管，所述冷凝盤管的進水口與出水口均延伸至所述箱體外。

進一步的，所述噴霧器連接有輸液管，所述輸液管遠離所述噴霧器的一端連接有輸液泵，所述輸液泵安裝在所述箱體的外側，所述輸液泵與所述容納腔連通。

進一步的，所述循環組件包括循環過濾泵和循環管，所述循環過濾泵安裝在所述箱體的外側壁，所述循環過濾泵與所述容納腔連通，所述循環管與所述循環過濾泵連接，所述循環管遠離所述循環過濾泵的一端延伸至所述箱體內，且位于所述擋板的上部。

進一步的，所述箱體一側設有進液口，所述進液口與所述容納腔連通，所述進液口處安裝有電磁閥。

進一步的，所述過濾隔離布由炭纖維制成。

進一步的，所述抽氣管的下端安裝有吸氣罩，所述吸氣罩位于所述過濾隔離布的上方，所述吸氣罩內安裝有布風板，所述布風板上均勻設置有通孔。

本實用新型的有益效果：