[實用新型]一種新型蝕刻機回流裝置

有效

• 申請號: 202320281004.6
• 申請日: 2023-02-22
• 公開（公告）號: CN219490166U
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 林萬禮;鄭嘉振;鄭人方;陳聖為
• 申請（專利權）人: 敬鵬(常熟)電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/46
• 代理公司: 北京優賽深聞知識產權代理有限公司 16040
• 代理人: 李亞軍

1.一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：包括箱體，所述箱體頂部設有抽風機，所述抽風機連接有抽氣管，所述抽氣管延伸至所述箱體內，所述箱體的內壁相對兩側設有一組凹槽，所述凹槽內設有過濾隔離布，所述過濾隔離布的下方設有傳送滾輪模組，所述傳送滾輪模組的上下兩側均勻設置有多個噴霧器，所述傳送滾輪模組的中間沿所述傳送滾輪模組傳輸方向設有貫穿所述箱體的通道，所述傳送滾輪模組的下方設有擋板，所述擋板與所述箱體的底部形成容納腔，所述箱體的一側設有將噴霧器噴出的蝕刻液輸送回所述容納腔的循環組件。

2.根據權利要求1所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于；所述過濾隔離布的上部設置有冷凝盤管，所述冷凝盤管的進水口與出水口均延伸至所述箱體外。

3.根據權利要求1所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：所述噴霧器連接有輸液管，所述輸液管遠離所述噴霧器的一端連接有輸液泵，所述輸液泵安裝在所述箱體的外側，所述輸液泵與所述容納腔連通。

4.根據權利要求3所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：所述循環組件包括循環過濾泵和循環管，所述循環過濾泵安裝在所述箱體的外側壁，所述循環過濾泵與所述容納腔連通，所述循環管與所述循環過濾泵連接，所述循環管遠離所述循環過濾泵的一端延伸至所述箱體內，且位于所述擋板的上部。

5.根據權利要求4所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：所述箱體一側設有進液口，所述進液口與所述容納腔連通，所述進液口處安裝有電磁閥。

6.根據權利要求1所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：所述過濾隔離布由炭纖維制成。

7.根據權利要求1所述的一種新型蝕刻機回流裝置，其特征在于：所述抽氣管的下端安裝有吸氣罩，所述吸氣罩位于所述過濾隔離布的上方，所述吸氣罩內安裝有布風板，所述布風板上均勻設置有通孔。