[實用新型]一種存放晶舟料盒的儲物盒

有效

• 申請號: 202320188318.1
• 申請日: 2023-02-10
• 公開（公告）號: CN219340130U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 洪成都
• 申請（專利權）人: 捷螺智能設備（蘇州）有限公司
• 主分類號: B65D25/04
• 分類號: B65D25/04;B65D25/20;B65D43/16;B65D25/10;B65D25/38;B65D85/86
• 代理公司: 南京樂羽知行專利代理事務所(普通合伙) 32326
• 代理人: 繆友建

本實用新型涉及一種存放晶舟料盒的儲物盒，屬于儲物設備技術領域。為解決現有技術中采用自由移動機器人進行晶舟料盒移送時，晶圓料盒存在掉落和因落塵造成晶圓污染，且完成移送后，采用人工進行料盒拿取，導致生產效率低，人工成本高的問題。本申請包括儲物盒本體和載物臺；儲物盒本體上轉動安裝有盒蓋，內部為儲物空腔；載物臺安裝于儲物空腔內；載物臺設有晶舟料盒識別組件和固定組件；晶舟料盒識別組件包括識別標簽和標簽識別器；固定組件用于固定晶舟料盒。本申請的儲物盒在移送晶圓料盒時，料盒穩定性高，能有效防塵，同時在放料時，能配合機器人手臂自動進行晶圓料盒的放料，降低人工成本，生產效率快，自動化程度高。

技術領域

本申請涉及一種存放晶舟料盒的儲物盒，屬于儲物設備技術領域。

背景技術

隨著國內半導體行業的發展及集成電路代工廠自動化程度的提高，晶舟自動裝載設備在集成電路裝備上的使用范圍越來越廣。對晶舟自動裝載設備的自動化性能、速度、可靠性、穩定性、安全性要求越來越高，對成本降低的要求也相應提高。晶舟料盒在半導體制程中被使用來保護、運送、并儲存晶圓的一種容器，其內部可以容納晶圓，是一種專屬于晶圓廠內的自動化傳送系統重要的傳載容器。

在生產過程中，現有技術中一般采用自由移動機器人進行晶舟料盒移送。存在不足之處：晶圓料盒放置于自由移動機器人，在移送過程中存在晃動，甚至發生晶圓料盒掉落或傾倒，導致晶圓損壞的情況。同時由于晶圓料盒多為無蓋結構，料盒的上開口為敞開的，在移送時，外部灰塵會進入料盒內，造成晶圓污染。

另外，自由移動機器人將晶圓料盒移送至目標工位后需要進行放料工序，在實際生產中，為了避免晶圓料盒放料錯誤，一般采用機器人手臂將晶圓料盒放置于存放區，再通過人工進行晶圓料盒的拿取、分類并放置于相應的工位，導致此類方式存在人員工作量大，生產效率低的問題，易造成因人為原因導致拿取錯誤的情況，因此亟需一種晶圓料盒儲物設備以解決上述問題。

實用新型內容

對現有技術中存在的問題與不足，本申請提供一種存放晶舟料盒的儲物盒，旨在解決目前存在的技術問題。

為實現上述目的，本申請提供如下技術方案：一種存放晶舟料盒的儲物盒，包括儲物盒本體和載物臺；儲物盒本體上轉動安裝有盒蓋，內部為儲物空腔；載物臺安裝于儲物空腔內；載物臺設有晶舟料盒識別組件和固定組件；晶舟料盒識別組件包括識別標簽和標簽識別器；固定組件用于固定晶舟料盒。

具體的，盒蓋設有驅動電機，盒蓋一端通過銷軸或連接銷釘與儲物盒本體鉸接；驅動電機固定安裝于儲物盒本體，且其動力端與盒蓋固定連接。

具體的，儲物盒本體內部設有若干個隔板，將儲物盒本體內部空腔分隔成若干個儲物空腔；盒蓋的數量與儲物空腔的數量相同，且盒蓋與儲物空腔一一對應的安裝于儲物盒本體。

具體的，晶舟料盒通過固定組件與載物臺卡扣連接。

具體的，固定組件包括卡條和卡塊；載物臺上設有安裝通孔，若干個卡條間隔安裝于安裝通孔內，之間形成與晶舟料盒放置面凸起相適配的卡槽；卡塊安裝于載物臺的底部，卡塊的截面為兩側低、中間高的臺階狀結構，晶舟料盒放置于載物臺時，卡塊的中間部分嵌入晶舟料盒底部支腿之間，晶舟料盒的支腿放置于卡塊的兩側。

具體的，載物臺設有感應組件；感應組件包括在料盒在位傳感器、在席傳感器和晶圓在位傳感器；料盒在位傳感器安裝于安裝通孔內；在席傳感器為對射式傳感器，且其分別安裝于載物臺的兩側；晶圓在位傳感器安裝于載物臺的上側，且其感應端穿過晶圓料盒的上開口。

具體的，識別標簽安裝于晶圓料盒；標簽識別器為RFID感應器。

具體的，載物臺相對儲物盒本體傾斜安裝于儲物空腔內。這樣設置可實現晶圓料盒放置于載物臺時，其上開口呈傾斜向上的姿態放置，提高晶圓的穩定放置，避免在移送過程中，晶圓突出或掉落造成損壞。

具體的，隔板的數量為一個，將儲物盒本體內部空腔分隔成兩個儲物空腔。