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[實用新型]一種存放晶舟料盒的儲物盒有效

專利信息
申請號: 202320188318.1 申請日: 2023-02-10
公開(公告)號: CN219340130U 公開(公告)日: 2023-07-14
發明(設計)人: 洪成都 申請(專利權)人: 捷螺智能設備(蘇州)有限公司
主分類號: B65D25/04 分類號: B65D25/04;B65D25/20;B65D43/16;B65D25/10;B65D25/38;B65D85/86
代理公司: 南京樂羽知行專利代理事務所(普通合伙) 32326 代理人: 繆友建
地址: 215104 江蘇省蘇州市吳*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 存放 晶舟料盒 儲物盒
【權利要求書】:

1.一種存放晶舟料盒的儲物盒,包括儲物盒本體和載物臺;其特征在于:所述儲物盒本體上轉動安裝有盒蓋,內部為儲物空腔;所述載物臺安裝于儲物空腔內;所述載物臺設有晶舟料盒識別組件和固定組件;所述晶舟料盒識別組件包括識別標簽和標簽識別器;所述固定組件用于固定晶舟料盒。

2.根據權利要求1所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述盒蓋設有驅動電機,盒蓋一端通過銷軸或連接銷釘與儲物盒本體鉸接;所述驅動電機固定安裝于儲物盒本體,且其動力端與所述盒蓋固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述儲物盒本體內部設有若干個隔板,將儲物盒本體內部空腔分隔成若干個所述儲物空腔;所述盒蓋的數量與儲物空腔的數量相同,且盒蓋與儲物空腔一一對應的安裝于儲物盒本體。

4.根據權利要求1所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述晶舟料盒通過固定組件與載物臺卡扣連接。

5.根據權利要求4所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述固定組件包括卡條和卡塊;所述載物臺上設有安裝通孔,若干個卡條間隔安裝于安裝通孔內,之間形成與晶舟料盒放置面凸起相適配的卡槽;所述卡塊安裝于載物臺的底部,卡塊的截面為兩側低、中間高的臺階狀結構,晶舟料盒放置于載物臺時,所述卡塊的中間部分嵌入晶舟料盒底部支腿之間,晶舟料盒的支腿放置于卡塊的兩側。

6.根據權利要求5所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述載物臺設有感應組件;所述感應組件包括在料盒在位傳感器、在席傳感器和晶圓在位傳感器;所述料盒在位傳感器安裝于安裝通孔內;所述在席傳感器為對射式傳感器,且其分別安裝于載物臺的兩側;所述晶圓在位傳感器安裝于載物臺的上側,且其感應端穿過晶圓料盒的上開口。

7.根據權利要求1所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述識別標簽安裝于晶圓料盒;所述標簽識別器為RFID感應器。

8.根據權利要求4所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述載物臺相對儲物盒本體傾斜安裝于儲物空腔內。

9.根據權利要求3所述的一種存放晶舟料盒的儲物盒,其特征在于:所述隔板的數量為一個,將儲物盒本體內部空腔分隔成兩個儲物空腔。

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