[實(shí)用新型]貼膜裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202320179427.7 | 申請(qǐng)日: | 2023-02-10 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN219418967U | 公開(kāi)(公告)日: | 2023-07-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 秦樂(lè) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 南通通富科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11435 | 代理人: | 郭棟梁 |
| 地址: | 226017 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 裝置 | ||
1.一種貼膜裝置,其特征在于,包括:
貼膜平臺(tái)(10),所述貼膜平臺(tái)(10)用于放置待貼膜圓片;
送膜組件(20),所述送膜組件(20)位于所述貼膜平臺(tái)(10)的水平方向的一側(cè),用于提供膜原料(21);
出膜組件(30),所述出膜組件(30)位于所述貼膜平臺(tái)(10)的相對(duì)所述送膜組件(20)的一側(cè),用于收集膜廢料(31);
貼膜組件,所述貼膜組件位于所述貼膜平臺(tái)(10)上方,用于將膜原料(21)貼附于所述待貼膜圓片的表面;
監(jiān)測(cè)組件(50),所述監(jiān)測(cè)組件(50)靠近所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)的邊緣設(shè)置,用于監(jiān)測(cè)所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)是否超出最大偏移距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述監(jiān)測(cè)組件(50)包括:
光電傳感器(51),所述光電傳感器(51)設(shè)置在垂直于所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)所在平面的一側(cè),且位于所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)的最大偏移距離處,用于發(fā)射光線和接收光線;
反光件(52),所述反光件(52)設(shè)置在所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)的相對(duì)所述光電傳感器(51)的另一側(cè),用于反射所述光電傳感器(51)發(fā)射的光線;
所述光電傳感器(51)用于根據(jù)接收到的所述反光件(52)發(fā)射的光線判斷所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)是否超出最大偏移距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的貼膜裝置,其特征在于,所述光電傳感器(51)設(shè)置在所述出膜組件(30)上,且位于所述膜廢料(31)的上側(cè);所述反光件(52)設(shè)置在所述出膜組件(30)上,且位于所述膜廢料(31)的下側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)的最大偏移距離為3mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述貼膜組件包括貼膜滾軸(40),所述貼膜滾軸(40)沿垂直于所述膜原料(21)的傳輸方向設(shè)置,且具有壓膜位置和空閑位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的貼膜裝置,其特征在于,所述貼膜滾軸(40)沿豎直方向與所述貼膜平臺(tái)(10)活動(dòng)連接,以實(shí)現(xiàn)所述壓膜位置和所述空閑位置的切換。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,還包括裁切組件,所述裁切組件位于所述貼膜平臺(tái)(10)上方,用于將所述膜原料(21)裁切為與所述待貼膜圓片尺寸相同的圓片膜以及所述膜廢料(31)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的貼膜裝置,其特征在于,所述裁切組件包括裁切刀(60),所述裁切刀(60)沿所述待貼膜圓片的邊緣與所述貼膜平臺(tái)(10)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,以對(duì)所述膜原料(21)進(jìn)行裁切。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述貼膜平臺(tái)(10)包括:
支撐盤(pán)(11),所述支撐盤(pán)(11)用于支撐所述待貼膜圓片;
吸附組件,所述吸附組件與所述支撐盤(pán)(11)連接,用于將所述待貼膜圓片吸附在所述支撐盤(pán)(11)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,所述送膜組件(20)包括送膜滾軸(22),所述送膜滾軸(22)用于卷繞所述膜原料(21);所述出膜組件(30)包括出膜滾軸(32),所述出膜滾軸(32)用于卷繞所述膜廢料(31)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜裝置,其特征在于,還包括報(bào)警器,當(dāng)所述監(jiān)測(cè)組件(50)監(jiān)測(cè)到所述膜原料(21)或所述膜廢料(31)超出所述最大偏移距離時(shí),所述報(bào)警器示警。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





