[實用新型]長晶爐

有效

• 申請號: 202320161478.7
• 申請日: 2023-01-19
• 公開（公告）號: CN218812222U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 簡征程;衛元元;王奇緣;呂芳棟;羅鴻;葉水全;張哲;徐江;李建;李書文;卿成;張旭;張建
• 申請（專利權）人: 通威微電子有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 楊勛

1.一種長晶爐，其特征在于，包括：

爐體；

冷卻管路(100)，所述冷卻管路(100)設置于所述爐體，用于冷卻所述爐體，所述冷卻管路(100)包括進水管(110)、出水管(130)和多個支管(120)，所述進水管(110)用于與PCW的供水管(300)連通，所述出水管(130)用于與PCW的回水管(310)連通，每個所述支管(120)的兩端分別連通于所述進水管(110)和所述出水管(130)；

接地結構(200)，所述接地結構(200)與所述冷卻管路(100)電連接，用于使所述冷卻管路(100)接地。

2.根據權利要求1所述的長晶爐，其特征在于，所述接地結構(200)與所述進水管(110)、所述出水管(130)和所述支管(120)三者中的至少一者電連接。

3.根據權利要求2所述的長晶爐，其特征在于，所述接地結構(200)與所述支管(120)電連接。

4.根據權利要求3所述的長晶爐，其特征在于，所述接地結構(200)包括多條第一接地導線(210)，所述多條第一接地導線(210)一一對應地與所述多個支管(120)電連接。

5.根據權利要求4所述的長晶爐，其特征在于，所述第一接地導線(210)通過金屬卡件與所述支管(120)電連接。

6.根據權利要求5所述的長晶爐，其特征在于，所述金屬卡件包括第一箍體和第二箍體，所述第一箍體和所述第二箍體可拆卸連接且共同夾持于所述支管(120)的外壁，所述第一接地導線(210)的一端與所述第一箍體或者所述第二箍體電連接。

7.根據權利要求4所述的長晶爐，其特征在于，所述接地結構(200)還包括匯流排(220)，所述匯流排(220)電連接有第二接地導線(230)，所述第二接地導線(230)用于與大地電連接，多條所述第一接地導線(210)遠離對應的所述支管(120)的一端分別與所述匯流排(220)電連接。

8.根據權利要求7所述的長晶爐，其特征在于，所述匯流排(220)設置有多個接線柱，多個所述接線柱與多條所述第一接地導線(210)一一對應且電連接。

9.根據權利要求8所述的長晶爐，其特征在于，所述接線柱的外壁設置有供所述第一接地導線(210)纏繞的凹槽。

10.根據權利要求7所述的長晶爐，其特征在于，所述接地結構(200)還包括絕緣箱(240)，所述匯流排(220)設置于所述絕緣箱(240)內，所述第二接地導線(230)與多條所述第一接地導線(210)均穿設所述絕緣箱(240)的箱壁。