[實(shí)用新型]長晶爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320161478.7
• 申請日: 2023-01-19
• 公開（公告）號: CN218812222U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 簡征程;衛(wèi)元元;王奇緣;呂芳棟;羅鴻;葉水全;張哲;徐江;李建;李書文;卿成;張旭;張建
• 申請（專利權(quán)）人: 通威微電子有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 楊勛

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種長晶爐，屬于碳化硅生產(chǎn)領(lǐng)域，長晶爐包括爐體、冷卻管路以及接地結(jié)構(gòu)，冷卻管路設(shè)置于爐體，用于冷卻爐體，接地結(jié)構(gòu)與冷卻管路電連接，用于使冷卻管路接地。通過設(shè)置接地結(jié)構(gòu)，將冷卻管路接地，從而可以有效地將冷卻管路以及流經(jīng)冷卻管路的水中的電荷引入大地，一方面可以排除長晶爐的冷卻管路內(nèi)的電荷，另一方面可以排除流經(jīng)冷卻管路的水中的電荷，避免帶電的水回到PCW，從而盡可能避免因管路和水流帶電導(dǎo)致的人員觸電、設(shè)備受損以及電磁干擾等情況發(fā)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及碳化硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種長晶爐。

背景技術(shù)

作為第三代半導(dǎo)體材料的代表，碳化硅(SiC)具有寬禁帶、高擊穿電場、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率等特點(diǎn)，因此采用碳化硅材料制備的半導(dǎo)體器件適用于高電壓、大電流、高溫、高頻等場景，前景十分廣闊。

長晶爐是制備碳化硅晶體的重要設(shè)備，碳化硅晶體制備過程需要高溫環(huán)境，因此長晶爐通常會設(shè)置加熱線圈進(jìn)行電加熱，同時(shí)配置有PCW(工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，ProcessCooling?Water)進(jìn)行冷卻降溫。PCW的水在長晶爐內(nèi)流動(dòng)過程中，容易帶電，尤其是水質(zhì)下降或者應(yīng)急自來水進(jìn)入長晶爐后帶電現(xiàn)象更加明顯，容易產(chǎn)生人員觸電、設(shè)備受損、電磁干擾等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種長晶爐，其能夠有效將冷卻管路以及流經(jīng)冷卻管路的水中的電荷引入大地，從而避免因管路和水流帶電導(dǎo)致的人員觸電、設(shè)備受損、電磁干擾等情況發(fā)生。

本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

第一方面，本實(shí)用新型提供一種長晶爐，包括：

爐體；

冷卻管路，所述冷卻管路設(shè)置于所述爐體，用于冷卻所述爐體，所述冷卻管路包括進(jìn)水管、出水管和多個(gè)支管，所述進(jìn)水管用于與PCW的供水管連通，所述出水管用于與PCW的回水管連通，每個(gè)所述支管的兩端分別連通于所述進(jìn)水管和所述出水管；

接地結(jié)構(gòu)，所述接地結(jié)構(gòu)與所述冷卻管路電連接，用于使所述冷卻管路接地。

在可選的實(shí)施方式中，所述接地結(jié)構(gòu)與所述進(jìn)水管、所述出水管和所述支管三者中的至少一者電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述接地結(jié)構(gòu)與所述支管電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述接地結(jié)構(gòu)包括多條第一接地導(dǎo)線，所述多條第一接地導(dǎo)線一一對應(yīng)地與所述多個(gè)支管電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述第一接地導(dǎo)線通過金屬卡件與所述支管電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述金屬卡件包括第一箍體和第二箍體，所述第一箍體和所述第二箍體可拆卸連接且共同夾持于所述支管的外壁，所述第一接地導(dǎo)線的一端與所述第一箍體或者所述第二箍體電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述接地結(jié)構(gòu)還包括匯流排，所述匯流排電連接有第二接地導(dǎo)線，所述第二接地導(dǎo)線用于與大地電連接，多條所述第一接地導(dǎo)線遠(yuǎn)離對應(yīng)的所述支管的一端分別與所述匯流排電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述匯流排設(shè)置有多個(gè)接線柱，多個(gè)所述接線柱與多條所述第一接地導(dǎo)線一一對應(yīng)且電連接。

在可選的實(shí)施方式中，所述接線柱的外壁設(shè)置有供所述第一接地導(dǎo)線纏繞的凹槽。

在可選的實(shí)施方式中，所述接地結(jié)構(gòu)還包括絕緣箱，所述匯流排設(shè)置于所述絕緣箱內(nèi)，所述第二接地導(dǎo)線與多條所述第一接地導(dǎo)線均穿設(shè)所述絕緣箱的箱壁。

本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果包括：