[實用新型]一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320140106.6
• 申請日: 2023-02-07
• 公開（公告）號: CN219286351U
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱國旗;孫輝;黃執(zhí)露;周雷;何洪文
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥沛頓存儲科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 上海恩凡知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31459
• 代理人: 李強

本實用新型涉及晶圓加工設(shè)備組件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，包括載板、可拆卸安裝在載板中部的晶圓、設(shè)置在載板外側(cè)且包圍載板的U型架和一體固定在U型架四個拐角處上的安裝架，所述U型架的兩個豎直端內(nèi)部均設(shè)置有用于載板安拆過程中綜合防劃傷的防護部，所述U型架的水平端上設(shè)置有用于載板插入后限位固定的鎖板部。本實用新型中，通過將原先的U型架結(jié)構(gòu)進行了科學(xué)合理化改良，在U型架上設(shè)置了輪槽、插槽、轉(zhuǎn)輥和側(cè)擋條，可將載板柔性限位引導(dǎo)到U型架之內(nèi)，有效降低了載板和U型架之間剛性接觸磨損，從而延長了放料架以及載板的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓加工設(shè)備組件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓切割加工前，需要將晶圓片通過儀器進行檢測處理，以此來檢測晶圓是否存在質(zhì)量問題。如圖4所示，放料架是安裝在晶圓檢測設(shè)備上的一個重要組件，其主要的作用是便于裝有載板的晶圓手動或者自動定點安插到檢測設(shè)備的工位上，而這種類型的放料架結(jié)構(gòu)在實際使用過程中存在以下不足之處：第一、U型架整體是由鋁合金材料制成，而載板是由不銹鋼材料制成，由于放料架和載板上均未設(shè)置任何防護結(jié)構(gòu)，長期使用過程中，U型架和載板之間易產(chǎn)生剛性接觸磨損，降低了放料架以及載板的使用壽命；第二、載板安插到U型架后不能有效的固定，檢測設(shè)備的探頭、機械手或者其他組件工作時，會導(dǎo)致載板在U型架內(nèi)橫向偏移和晃動，從而降低了晶圓安裝以及檢測過程中的穩(wěn)定性。

有鑒于此，設(shè)計制造出一種能夠降低載板與U型架之間接觸磨損，同時能夠?qū)崿F(xiàn)載板和U型架之間穩(wěn)定組裝的放料架，在晶圓檢測設(shè)備上顯得尤為重要。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于：為了解決傳統(tǒng)的晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，存在接觸磨損嚴重以及安插穩(wěn)定性差的問題，而提出的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，包括載板、可拆卸安裝在載板中部的晶圓、設(shè)置在載板外側(cè)且包圍載板的U型架和一體固定在U型架四個拐角處上的安裝架，所述U型架的兩個豎直端內(nèi)部均設(shè)置有用于載板安拆過程中綜合防劃傷的防護部，所述U型架的水平端上設(shè)置有用于載板插入后限位固定的鎖板部。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述防護部包括等距開設(shè)在U型架兩個豎直端底部的多個輪槽和轉(zhuǎn)動安裝在多個輪槽內(nèi)側(cè)且頂部高于U型架下端內(nèi)壁的轉(zhuǎn)輥。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述防護部還包括開設(shè)在兩個豎直端內(nèi)部側(cè)向的插槽和可拆卸安裝在插槽內(nèi)側(cè)且與載板側(cè)壁相貼合的側(cè)擋條。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述轉(zhuǎn)輥是由硫化橡膠材料制成。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述側(cè)擋條是由亞克力材料制成。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述鎖板部包括安裝在U型架水平端上方的滑盒、活動安裝在滑盒內(nèi)側(cè)且與載板上端面相貼合的斜面滑塊和開設(shè)在載板后端且與斜面滑塊的斜面相對應(yīng)的斜口。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述滑盒的內(nèi)側(cè)位于滑盒和斜面滑塊之間安裝有折疊彈片。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述U型架的水平端內(nèi)側(cè)固定連接有與載板下端面相貼合的限位托塊。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是：