[實(shí)用新型]一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320140106.6
• 申請日: 2023-02-07
• 公開（公告）號: CN219286351U
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱國旗;孫輝;黃執(zhí)露;周雷;何洪文
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥沛頓存儲科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 上海恩凡知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31459
• 代理人: 李強(qiáng)

1.一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，包括載板(1)、可拆卸安裝在載板(1)中部的晶圓(2)、設(shè)置在載板(1)外側(cè)且包圍載板(1)的U型架(3)和一體固定在U型架(3)四個(gè)拐角處上的安裝架(303)，其特征在于，所述U型架(3)的兩個(gè)豎直端內(nèi)部均設(shè)置有用于載板(1)安拆過程中綜合防劃傷的防護(hù)部，所述U型架(3)的水平端上設(shè)置有用于載板(1)插入后限位固定的鎖板部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護(hù)部包括等距開設(shè)在U型架(3)兩個(gè)豎直端底部的多個(gè)輪槽(301)和轉(zhuǎn)動安裝在多個(gè)輪槽(301)內(nèi)側(cè)且頂部高于U型架(3)下端內(nèi)壁的轉(zhuǎn)輥(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護(hù)部還包括開設(shè)在兩個(gè)豎直端內(nèi)部側(cè)向的插槽(302)和可拆卸安裝在插槽(302)內(nèi)側(cè)且與載板(1)側(cè)壁相貼合的側(cè)擋條(5)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)輥(4)是由硫化橡膠材料制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述側(cè)擋條(5)是由亞克力材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鎖板部包括安裝在U型架(3)水平端上方的滑盒(6)、活動安裝在滑盒(6)內(nèi)側(cè)且與載板(1)上端面相貼合的斜面滑塊(7)和開設(shè)在載板(1)后端且與斜面滑塊(7)的斜面相對應(yīng)的斜口(101)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述滑盒(6)的內(nèi)側(cè)位于滑盒(6)和斜面滑塊(7)之間安裝有折疊彈片(8)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓檢測設(shè)備用放料架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述U型架(3)的水平端內(nèi)側(cè)固定連接有與載板(1)下端面相貼合的限位托塊(304)。