[實(shí)用新型]劃片機(jī)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320101764.4
• 申請(qǐng)日: 2023-02-02
• 公開（公告）號(hào): CN219466626U
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡小波;于光明;孫志超;顧宇彬;劉亞杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00;G02B7/04
• 代理公司: 南京艾普利德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 顧祥安

本實(shí)用新型揭示了劃片機(jī)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)，其中劃片機(jī)包括工件固定機(jī)構(gòu)、切割機(jī)構(gòu)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)，所述視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)包括防護(hù)箱，所述防護(hù)箱內(nèi)設(shè)置有第一圖像采集裝置及升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接所述第一圖像采集裝置并驅(qū)動(dòng)其升降，所述防護(hù)箱的底板上設(shè)置有與所述第一圖像采集裝置的鏡頭對(duì)應(yīng)的第一通孔，所述防護(hù)箱處設(shè)置有遮擋機(jī)構(gòu)，所述遮擋機(jī)構(gòu)包括可在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的擋板，在第一位置處，所述擋板遮蓋所述第一通孔；在第二位置處，所述擋板位于所述第一通孔的外側(cè)。本實(shí)用新型的高倍鏡設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)上，能夠根據(jù)不同的檢測(cè)需要來調(diào)整高倍鏡的高度從而實(shí)現(xiàn)焦距的調(diào)節(jié)，使圖像識(shí)別更靈活，應(yīng)用范圍更廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是劃片機(jī)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

劃片機(jī)是進(jìn)行半導(dǎo)體加工的重要設(shè)備，在劃片之前通常需要通過視覺識(shí)別來確定檢測(cè)位置，如授權(quán)公告號(hào)為CN216526685U的中國(guó)實(shí)用新型專利所示的視覺識(shí)別結(jié)構(gòu)是一種常用的檢測(cè)結(jié)構(gòu)。

但是這種結(jié)構(gòu)中，兩個(gè)相機(jī)的高度是固定的無法進(jìn)行焦距的調(diào)整。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供一種劃片機(jī)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

劃片機(jī)，包括工件固定機(jī)構(gòu)、切割機(jī)構(gòu)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)，所述視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)包括防護(hù)箱，所述防護(hù)箱內(nèi)設(shè)置有第一圖像采集裝置及升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接所述第一圖像采集裝置并驅(qū)動(dòng)其升降，所述防護(hù)箱的底板上設(shè)置有與所述第一圖像采集裝置的鏡頭對(duì)應(yīng)的第一通孔，所述防護(hù)箱處設(shè)置有遮擋機(jī)構(gòu)，所述遮擋機(jī)構(gòu)包括可在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的擋板，在第一位置處，所述擋板遮蓋所述第一通孔；在第二位置處，所述擋板位于所述第一通孔的外側(cè)。

優(yōu)選的，所述防護(hù)箱內(nèi)還設(shè)置有第二圖像采集裝置，所述底板上設(shè)置有與所述第二圖像采集裝置的鏡頭對(duì)應(yīng)的第二通孔，在第一位置、第二位置時(shí)，所述擋板遮蓋所述第二通孔；在第三位置時(shí)，所述擋板使所述第二通孔打開以進(jìn)行檢測(cè)。

優(yōu)選的，所述第一圖像采集裝置包括由所述升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)升降的高倍鏡頭，所述高倍鏡頭上方連接第一圖像采集器，所述高倍鏡頭的下方同心連接有連接環(huán)，所述連接環(huán)上設(shè)置有連接頭，所述連接頭與所述連接環(huán)上的吹氣桿連通，所述吹氣桿的出氣端朝向所述第一通孔。

優(yōu)選的，所述視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)設(shè)置在一Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)上。

優(yōu)選的，所述Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)以直線電機(jī)作為動(dòng)力源。

優(yōu)選的，所述工件固定機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)臺(tái)以及設(shè)置在所述轉(zhuǎn)臺(tái)上的吸附工裝。

優(yōu)選的，所述工件固定機(jī)構(gòu)設(shè)置在X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)處，所述X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述工件固定機(jī)構(gòu)在一龍門架的相對(duì)的兩側(cè)之間移動(dòng)，所述切割機(jī)構(gòu)及視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述龍門架的相對(duì)的兩側(cè)，所述龍門架處設(shè)置有將其兩側(cè)分隔的自動(dòng)門。

優(yōu)選的，所述工件固定機(jī)構(gòu)為兩個(gè)，所述視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)設(shè)置在Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，所述Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)由一個(gè)工件固定機(jī)構(gòu)處移動(dòng)至另一工件固定機(jī)構(gòu)處。

優(yōu)選的，所述切割機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)主軸以及分別驅(qū)動(dòng)兩個(gè)主軸進(jìn)行Y向移動(dòng)和Z向移動(dòng)的切割移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述Y軸移動(dòng)為水平移動(dòng)且和工件固定機(jī)構(gòu)的水平移動(dòng)方向垂直，所述Z軸移動(dòng)為豎向移動(dòng)。

視覺識(shí)別機(jī)構(gòu)，包括防護(hù)箱，所述防護(hù)箱內(nèi)設(shè)置有第一圖像采集裝置及升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接所述第一圖像采集裝置并驅(qū)動(dòng)其升降，所述防護(hù)箱的底板上設(shè)置有與所述第一圖像采集裝置的鏡頭對(duì)應(yīng)的第一通孔，所述防護(hù)箱處設(shè)置有遮擋機(jī)構(gòu)，所述遮擋機(jī)構(gòu)包括可在第一位置和第二位置之間移動(dòng)的擋板，在第一位置處，所述擋板遮蓋所述第一通孔；在第二位置處，所述擋板位于所述第一通孔的外側(cè)。

本實(shí)用新型技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)主要體現(xiàn)在：