[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320088540.4
• 申請(qǐng)日: 2023-01-31
• 公開（公告）號(hào): CN219226236U
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐建雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天鼎科技研發(fā)（珠海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/687;G03F7/20
• 代理公司: 廣州鵬宇專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33455
• 代理人: 陳現(xiàn)新

1.一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，包括機(jī)架（1），所述機(jī)架（1）的底部安裝有底板（2），所述底板（2）的頂部固定安裝有減震裝置（4），其特征在于：所述機(jī)架（1）的背面內(nèi)側(cè)固定連接有輔助裝置（5）；

所述輔助裝置（5）包括固定單元和移動(dòng)單元，所述固定單元包括固定板二（501）和連接塊（502），所述移動(dòng)單元包括伸縮桿（503）、限位板（504）和通板（505）；

所述固定板二（501）固定安裝于機(jī)架（1）的背面內(nèi)側(cè)，所述連接塊（502）固定安裝于固定板二（501）的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述伸縮桿（503）滑動(dòng)連接于連接塊（502）的正面，所述限位板（504）套接于伸縮桿（503）的前端，所述通板（505）開設(shè)于限位板（504）的內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述機(jī)架（1）的頂部固定安裝有頂板（101），所述機(jī)架（1）的左右內(nèi)側(cè)固定連接有手提板（102）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述手提板（102）的底部設(shè)置有移動(dòng)組件（3），所述移動(dòng)組件（3）包括固定板一（301）、滑桿（302）、移動(dòng)塊（303）和連接板（304）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述固定板一（301）固定安裝于機(jī)架（1）的左右內(nèi)側(cè)，所述滑桿（302）固定安裝于固定板一（301）的內(nèi)側(cè)，所述移動(dòng)塊（303）滑動(dòng)連接于滑桿（302）的外部，所述連接板（304）固定連接于移動(dòng)塊（303）的右側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述減震裝置（4）包括承接板（401）、緩沖板（402）、彈簧組（403）和放置板（404）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于半導(dǎo)體制造的輔助工裝，其特征在于：所述承接板（401）固定安裝于底板（2）的頂部，所述緩沖板（402）固定安裝于承接板（401）的頂部，所述彈簧組（403）活動(dòng)連接于緩沖板（402）內(nèi)側(cè)，所述放置板（404）固定安裝于彈簧組（403）的頂部。